朱荻——微纳加工技术

《朱荻——微纳加工技术》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、AFM工作原理通过隧道电流检测力敏元件的位移来实现力敏元件探针尖端与表面原子之间的排斥力（10-8-10-6牛顿）的监测，进而得到表面型貌像。12调节针尖位置和偏压，将氙原子吸附后移动，每个字母长5纳米。（超高真空，超低温）34在石墨表面通过搬迁碳原子绘制出的世界上最小的中国地图5STMdepositThislithographiccapabilitywasrelatedtoaphenomenathatoccurredwhenagoldtiphadashort(secvoltagepulseappliedtoit.Thiswouldd

2、epositasmallmoundofgoldatomsonthesubstrate.Themoundseachcontain100-200atomsandcanbedepositedinapattern(aglobeshowingthewesternhemisphere)西半球：4V600纳秒脉冲，原子从金针尖发射，在金样品留下直径10纳米高1-2纳米小丘。地图直径1微米。6AFMlithography:groovesinSiwithawidthofabout30nmandadepthof45nm掩膜、光栅789四结论与展望10制造技

3、术的精密化与微细化微细放电(MicroEDM)微细电解(MicroECM)精密电铸(MicroElectroforming)LIGA和UV-LIKEELID精密磨削微细快速成型(MicroRapidPrototyping)微细铣削(MicroMilling)挤压珩磨(ExtrudeHone)基于SPM的纳米加工11罗雷尔，1993年，7thSTMSYMP许多人认为纳米科技仅仅是遥远的未来基础科学的事情，而没有什么实际意义。但我确信纳米科技现在已具有与150年前，微米科技所具有的希望和重要意义。150年前，微米作为新的精度标准、并成为工业

4、革命的技术基础，最早和最好学会并使用微米技术的国家都在工业发展中占据了巨大的优势。同样，未来的技术将属于那些明智地接受纳米作为新标准、并首先学习和使用它的国家。不幸的是，目前对这一技术新领域保持和怀疑态度的还大有人在。我们应当记住，微米技术曾同样地被认为对使用牛耕地的农民无关紧要。的确，微米与牛和耕犁毫无关系，但它却改变了耕作方式，带来了拖拉机。12敬请提出宝贵意见13