毕业论文--MEMS加速度式频率测量的研究

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1、HUNANUNIVERSITY毕业设计（论文）设计（论文）题目：MEMS加速度式频率测量的研究学生姓名学生学号专业班级自动化1103指导老师院长(系主任)2015年5月25日湖南大学毕业设计(论文)第III页摘要随着微机械、微加工技术的发展，微型传感器也得到了快速的发展，MEMS加速度传感器就是其中的一种。许多半导体公司对MEMS加速度传感器的研究也取得了很大的成就，并且MEMS传感器也得到了广泛的应用。我们知道，频率是一种重要的工程参数，而MEMS加速度传感器又是一种前景广阔的电子器件。因此对利用MEMS加速度传感器进行频率测量的研究有着非常重要的现实意义。本文将重点介

2、绍MEMS加速度传感器频率测量的方法和硬件电路设计。首先，本文将概述MEMS加速度传感器的发展及发展趋势以及几种不同的MEMS加速度传感器、课题的研究内容，并阐述了本设计的内容和意义。其次，本文将对MEMS加速度传感器的原理以及系统的检测原理做详细介绍。最后，本文将详细的介绍硬件设计中用到的元器件的选型及模块的设计方法，并给出此次设计的硬件电路图。关键词：频率；MEMS加速度传感器；硬件设计MEMSaccelerationtheresearchoffrequency湖南大学毕业设计(论文)第III页measurementsystemAbstractwiththedevel

3、opmentofmicromachine,microprocessingtechnology,themicrosensoralsoobtainedfastdevelopment,theMEMSaccelerationsensorisoneofthem,ManysemiconductorcompaniesontheresearchofMEMSaccelerationsensoralsohasmadegreatachievements,andMEMSsensorisalsowidelyused,Weknowthatfrequencyisanimportantengineeri

4、ngparameters,theMEMSaccelerationsensorisakindofbroadprospectsforelectronicdevices,SothestudyoftheuseofMEMSaccelerationsensorforfrequencymeasurementhasveryimportantpracticalsignificance,ThisarticlefocusesonMEMSaccelerationfrequencymeasurementmethodandhardwarecircuitdesign.Firstofall,thisar

5、ticlewilloutlinethedevelopmentoftheMEMSaccelerationsensorandthedevelopmenttrendandseveraldifferentMEMSaccelerationsensor,researchcontent,andexpoundsthecontentandsignificanceofthisdesign.Secondly,thisarticlewilltheprincipleofMEMS,accelerationsensor,aswellasthedetectionprincipleofthesystemi

6、ndetail.Finally,thispaperwilldetailthehardwaredesignofcomponentsusedintheselectionandmoduledesignmethod,andthedesignofthehardwarecircuitdiagramisgiven.Keywords:Frequency;MEMSaccelerationsensor;Thehardwaredesign目录湖南大学毕业设计(论文)第III页1.绪论………………………………………………………………………………………11.1本课题的目的及研究意义……………………

7、………………………….....…11.2MEMS加速度传感器应用领域及分类………………....……………………11.2.1常见应用领域............................................................................................11.2.2加速度传感器分类....................................................................................21.3MEMS加