嵌套环式MEMS振动陀螺的频率修调技术研究

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1、分类号TP212.1学号14033037ＵＤＣ密级公开工学硕士学位论文嵌套环式MEMS振动陀螺的频率修调技术研究硕士生姓名于得川学科专业机械工程研究方向微机电系统与微纳器件指导教师何汉辉副教授国防科学技术大学研究生院二〇一六年十一月ResearchontheFrequencyTuningoftheDiskResonatorGyroscopeCandidate：YuDechuanAdvisor：HeHanhuiAdissertationSubmittedinpartialfulfillmentofth

2、erequirementsforthedegreeofMasterofEngineeringinMechanicalEngineeringGraduateSchoolofNationalUniversityofDefenseTechnologyChangsha，Hunan，P.R.ChinaNovember，2016独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表和撰写过的研究成果，也不包含

3、为获得国防科学技术大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文题目：嵌套环式MEMS振动陀螺的频率修调技术研究学位论文作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本人完全了解国防科学技术大学有关保留、使用学位论文的规定。本人授权国防科学技术大学可以保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子文档，允许论文被查阅和借阅；可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存

4、、汇编学位论文。（保密学位论文在解密后适用本授权书。）学位论文题目：嵌套环式MEMS振动陀螺的频率修调技术研究学位论文作者签名：日期：年月日作者指导教师签名：日期：年月日国防科学技术大学研究生院硕士学位论文目录表目录.....................................................................................................................iii图目录.....................

5、.................................................................................................iv摘要.............................................................................................................................viiAbstract...............

6、...........................................................................................................viii第一章绪论................................................................................................................11.1论文研究背景及意义...........

7、..........................................................................11.2国外研究综述.................................................................................................21.3国内研究综述.............................................................

8、....................................61.4论文主要研究内容.........................................................................................8第二章嵌套环式MEMS振动陀螺结构原理及频率裂解基本理论.......................102.1嵌套环式MEMS振动陀螺的结构及工作原理......................