毕业设计（论文）--软刻蚀方法复制仿生微纳结构

《毕业设计（论文）--软刻蚀方法复制仿生微纳结构》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、毕业设计（论文）课题软刻蚀方法复制仿生微纳结构专业年级2005级电子科学与技术学号20052415姓名王志恒指导教师孙洪文评阅人齐本胜二○○九年六月计算机及信息工程学院（常州）河海大学本科毕业设计（论文）任务书（理工科类）Ⅰ、毕业设计（论文）题目：软刻蚀方法复制仿生微纳结构Ⅱ、毕业设计（论文）工作内容（从综合运用知识、研究方案的设计、研究方法和手段的运用、应用文献资料、数据分析处理、图纸质量、技术或观点创新等方面详细说明）：当前微电子加工技术已经进入纳米时代，随着特征尺寸的进一步缩写，下一代光刻技术急需解决

2、。纳米压印技术(nanoimprint)极有可能成为下一代光刻技术，因为它具有工艺简单直接、成本低、效率高的优点。由于它是基于物理变形复制图案，不受光学衍射等因素影响，它具有较高的分辨率，可加工低于10纳米的图案。软刻蚀作为广义纳米压印技术的一种，具有柔性、易加工三维结构、生物相容性等优点，软刻蚀技术是一种集体技术的集体称呼，它包括微接触印刷、微模塑复制等，它们的共同点都是用到柔软的印章，常用的是PDMS印章。本课题拟提出用软刻蚀的方法批量复制仿生的微纳结构，该结构表面具有一定的疏水特性。通过本课题的设计，

3、可认识软刻蚀技术中PDMS印章的制备，综合锻炼学生多学科的交叉分析能力。具体工作内容如下：：1、熟悉课题研究背景，对相关纳米压印和软刻蚀资料进行分析整理。2、对软刻蚀制备印章的方法熟练掌握。3、购买实验材料，准备进行复制实验。4、进行实验，从干荷叶结构上复制其表面的微纳米结构。5、对印章和复制品的表面结构分别进行原子力显微镜进行测量。6、对实验结果进行分析总结。7、给出论文英文摘要、专业英文资料翻译。8、要求用WORD排版、打印毕业论文。Ⅲ、进度安排：（1）2008年11月―2009年1月：查阅资料，英文翻

4、译，熟悉课题背景（2）2009年2月―2009年3月：进行相关资料收集，购买实验材料（3）2009年3月―2009年4月：进行实验从干荷叶上复制其表面的微纳米结构。　（4）2009年4月―2009年5月：对印章和复制品的表面结构分别进行原子力显微镜进行测量，对实验结果进行分析总结。（5）2009年5月―2009年6月：撰写毕业设计论文、答辩Ⅳ、主要参考资料：[1]崔铮，微纳米加工技术及其应用综述，物理，2006，35(1)，34-39.[2]MooreG.E.Crammingmorecomponentson

5、tointegratedcircuits,Electronic[19]LeeG.-B.,ChenS.-H.,HuangG.-R.,etal.MicrofabricatedplasticchipsbyhotembossingmethodsandtheirapplicationsforDNAseparationanddetection,SensorsandActuatorsB,2001,75，142-148.[3]ChouS.Y.,KraussP.R.,RenstromP.J.,Imprintofsub-25n

6、mviasandtrenchesinpolymers,Appl.Phys.Lett.1995,67,3114-3116.[4]MiyauchiA.,HaginoyaC.,AndouT.,Nanoimprinttechnologyandapplications,INTERMAGASIA2005:DigestsoftheIEEEInternationalMagneticsConference,Nagoya,2005,159-160[5]孙洪文，刘景全，陈迪，顾盼，杨春生，纳米压印技术，电子工艺技术，2004，2

7、5（3）：93－98指导教师：，年月日学生姓名：王志恒，专业年级：2005电子科学技术系负责人审核意见（从选题是否符合专业培养目标、是否结合科研或工程实际、综合训练程度、内容难度及工作量等方面加以审核）：系负责人签字：，年月日摘要当前微电子加工技术已经进入纳米时代，纳米压印技术(nanoimprintlithograhpy,NIL)极有可能成为下一代光刻技术，因为它具有工艺简单直接、成本低、效率高的优点。软刻蚀作为广义纳米压印技术的一种，具有柔性、易加工三维结构、生物相容性等优点，软刻蚀技术是一种集体技术的

8、集体称呼，常用的是PDMS印章。近年来，自然界中的超疏水与自清洁现象引起人们的研究兴趣。超疏水表面可用于汽车车窗、建筑物的玻璃窗以及玻璃外墙起到防污作用。人工制备超疏水结构是近年来的热点研究，很多研究小组用各种方法进行超疏水结构的制备。由于软刻蚀技术的各种优点与加工特点，用软刻蚀技术加工聚二甲基硅氧烷PDMS（Polydimethysiloxane，PDMS）超疏水结构是一种经济新型的方法。本课题的设计，采用多学