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《毕业设计（论文）-芯片抛光车间供液系统管路及其成套系统设计》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、中北大学2014届毕业设计说明书摘要随着我国社会经济的发展，现代企业建设发展十分迅速，同时也对企业的基础设施建设提出了更高的要求。而厂矿企业对供水供液的要求也越来越大，在供液系统方面面临的矛盾和问题日益突出。随着企业生产对供液质量和供液系统可靠性要求的不断提高，利用先进的自动化技术、控制技术，设计出高性能、高节能、能适应供液系统复杂环境的恒压、稳流等优良的供液系统成为必然趋势。本课题针对芯片抛光车间生产的特点，对芯片抛光车间的供液系统管路进行了研究，采用合理方案对供液系统进行了优化设计。相对于传统的供液管路系统，本课题主要在供液原理、空间布局，设备选型等方面进行了改良，并用相关软件
2、进行了空间布局和结构安装图的绘制。关键词：芯片抛光车间，供液管路,恒压，稳流中北大学2014届毕业设计说明书ABSTRACTWiththedevelopmentofsocietyandeconomy,Notonlythemodernbusinessbuildingdevelopveryrapidly,butalsotherequirementsoncorporateinfrastructureputforwardhigher.TherequirementsofindustrialenterprisesforwatersupplyisalsogrowingandContradicti
3、onsandproblemsinthehydraulicsystemfacedincreasinglyprominent.Theflowoffluidsupplysystemthatuseadvancedautomationtechnology,controltechnology,hasahigh-performance,highenergy,andbeabletoadapttothecomplexenvironmentofthefluidsupplysystemconstantly,steadlyhasbecomeaninevitabletrend.Thistopic,forth
4、echippolishingworkshopproductioncharacteristics,theliquidsupplysystempipingchippolishingworkshopwerestudiedandusingreasonablesolutionsforthefluidsupplysystemoptimizeddesign.Comparedtoconventionalliquidsupplypipingsystem,themaintopicwasmodifiedinprincipleforthefluid,spatiallayout,equipmentselec
5、tion,etc.Atlast,drawoutthespace-relatedsoftwareinsallationdiagramofthelayoutandstructure.Keyword:chippolishingworkshop,liquidpipeline,constant,steadyflow中北大学2014届毕业设计说明书目录1绪论11.1课题的工程背景及意义11.2国内外发展研究现状与发展趋势11.3本说明书的主要研究内容51.3.1芯片抛光车间供液系统管路的空间布局设计51.3.2供液管路系统及其配套设施的设计51.3.3供液方式设计51.3.4系统选材61.3.
6、5芯片抛光车间供液系统布局图61.4课题研究设计流程图62总体方案设计72.1空间布局设计72.2系统主要参数设计102.3供液方式设计102.3.1供、排液管同程循环系统设计102.3.2循环水泵多台并联设计112.3.3变频调速技术122.3.4控制系统工作原理122.4系统安装注意事项132.4.1总体安装特别注意事项132.4.2管道安装132.4.3变频器安装142.5本章小结153管道系统选型163.1流量与管径、压力、流速的一般关系163.2管径、压力与流速计算183.3本章小结20第II页共II页中北大学2014届毕业设计说明书4配套系统的选型214.1泵的选型21
7、4.2阀门的选型254.3传感器的选型264.4变频器的选型284.4.1在选择变频器的容量时最基本的原则284.4.2加速时间与变频器容量选择的关系284.5本章小结285总结29参考文献30致谢33第II页共II页中北大学2014届毕业设计说明书1绪论1.1课题的工程背景及意义随着我国社会经济的发展，现代企业建设发展十分迅速，同时也对企业的基础设施建设提出了更高的要求。现在，芯片抛光车间主要采用双面抛光工艺作为芯片加工的主要后续加工方法。精密的双面抛光的加工精度和
