PCM-introduction工艺控制监测器介绍

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1、PCMintroduction工艺控制监测器介绍PCM--processcontrolmonitor（工艺控制监测器）一解是processcontrolmonitor,一解是parametercontrolmonitor。PCM参数给定的是该工艺要实现的一些重要的参数，包括各方块电阻/电容/孔接触电阻/导线电阻/管子的开启电压等重要参数等。不仅仅是电阻，所有用到的器件包括有源和无源器件的参数都要给出具体数值。方块电阻，电容阻值，晶体管的基本参数都给出。在流片结束后测试专门放在划片槽中的PCM图形，作为“交货的质量凭证”。PCM是Fou

2、ndry监控工艺的，当器件的测量值都在指定的范围内，Foundry就会说我们的工艺没问题，如果产品性能差就是设计的问题了。Contents1概述2PCM硬件部分3PCM测试原理和方法4PCM异常处理What’sPCMPCM就是ProcessControl&Monitor的简称同时，PCM也称为WAT：WaferAcceptTest（芯片接收测试）ET:ElectricalTest1.对产品进行参数质量检验；2.通过PCM测试，获取流水线上异常信息；3.为流水线上的工艺实验提取参数信息；4.进行客户反馈产品失效原因分析；5.数据统计分析

3、工作；PCM测试的目的PCM主要设备1.HP4062半导体参数测试仪2.AG4070series3、S4504、HP4155半导体参数测试仪HP4062半导体参数测试仪HP4062硬件系统结构GBIB测试仪（Multimeter，CMeter，PGU，SMU…）测试头、SWM探针台UNIX工作站GBIB光纤GBIB总线方式的虚拟仪器GPIB技术是IEEE488标准的虚拟仪器早期的发展阶段。它的出现使电子测量独立的单台手工操作向大规模自动测试系统发展，典型的GPIB系统由一台PC机、一块GPIB接口卡和若干台BPIB形式的仪器通过GPI

4、B电缆连接而成。在标准情况下，一块GPIB接口可带多达14台仪器，电缆长度可达40米。GPIB技术可用计算机实现对仪器的操作和控制，替代传统的人工操作方式，可以很多方便地把多台仪器组合起来，形成自动测量系统。GPIB测量系统的结构和命令简单，主要应用于台式仪器，适合于精确度要求高的，但不要求对计算机高速传输状况时应用。HP4155半导体参数测试仪HP4155半导体参数测试仪HP4155原理HP4155参数测试分析仪由HP4155,HP41501构成一套测试系统．半导体参数分析仪HP4155半导体参数测试；电压测量范围：±200V，电流

5、测量范围：±1A半导体参数测试仪HP4145半导体参数测试；电压测量范围：100V，电流测量范围：100mA.1.HP4155由四组SMU，两组VSU，两组VMU构成．SMU:SOURCEMONITORUNIT.有三种用途：Voltagesourcewhilemonitoringcurrent.Currentsourcewhilemonitoringvoltage.Sourcecommonwithnomonitor.VSU:VOLTAGESOURCEUNIT.VMU:VOLTAGEMONITORUNIT.2.HP41501由两组P

6、GU，一组HPSMU(或两组MPSMU),一组GNDU构成．PGU:PULSEGENERATORUNITHPSMU:HIGHPOWERSMUMPSMU:MEDIUMPOWERSMUGNDU:接地单元．PCM测试模块PCM图形放在划片的槽中BDGSSSSS主要参数介绍（1）开启电压（NXSTRW2/PXSTRW2）（2）击穿电压（NXSTRW2/PXSTRW2）（3）导通电流（NXSTRW2/PXSTRW2）（4）单管漏电流（NXSTRW2/PXSTRW2）（5）方块电阻（NPLUS/PPLUS/TUBS/PGT/PPC/M1LSVDP

7、/M2LSVDP）（6）接触电阻（NPLUS/PPLUS/PGT/PPC/）（7）电容及电容击穿（CAPNP/CAPPC）RES1（条电阻测试）TUBS（阱电阻）CAPNP（电容模块）PTRANW2（通孔测试）PPLUS（P+RES，Rc）NXSTRW2（N管参数）PXSTRW2（P管参数）NPLUS（N+RES，Rc）GBSDAbriefprocessflowNW/PWActiveVTIMPGOXPOLYLDDSPACERS/DContactM1D2M2PassivationFOX(IMP,FOX)VIAD1,refluwENDAl

8、loyRelatedmonitoritems相关的监视器项目WELL:R,BVActive/Field:VTF,junctionBVVTIMP:MOSVTGOX:Tox,BVPOLY:R,LeffLDD/SPACER:M