西工大-mems创业计划书

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1、Mems压力传感器创业计划书项目名称Mems压力传感器公司名称西安mems压力传感器技术有限公司成立时间计划2014年年初公司地址陕西省西安市注册资本10万所处行业电子行业所处阶段计划阶段融资金额无融资方式合伙退出方式签订合同联系方式联系人xx电话12345678910传真邮箱CGQ@126.com公司网站http://www.cgq.com融资说明创业初期，公司规模较小，所需资金较少，所以不进行融资，只需要以合伙方式开业。合伙人共有三名，以合同的方式进行合伙及退出合伙。股东构成姓名：xx投入资金:5.5万元所占比重:50%姓名：张×投入资金:3.5万元所占比重:

2、30%姓名：徐××投入资金:1万元所占比重:20%徐××是持有劳动保障部门颁发的《再就业优惠证》的下岗失业人员，曾经从事过有关mems的工作，合同注明徐××以技术股份和1万元资金入股企业简介公司地处西安，信息资源集中，技术力量雄厚，与国内外有着广泛的联系，通过了解、吸收、传播世界先进的传感器测量产品、检测技术和自动化技术，虔诚为国内客户服务。我们本着互惠互利、携手并进的原则，以成为企业“优秀合作伙伴”为已任，深受业界好评。我们致力于称重mems压力传感器系列产品和工业控制系统的研发、生产、推广和服务等工作，是目前国内品种较为齐全的压力传感器及仪器仪产品配套供应商。

3、企业宗旨：优质的产品，保证客户的市场；理想的价格，拓展客户的空间一、项目可行性1)项目主要内容及技术路线介绍MEMS即微机电系统（MicroelectroMechanicalPage12of12主要产品及服务Systems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产

4、、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品，也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方式来看，微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类，分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。压阻式压力传感器的精度可达0.05%～0.01%,年稳定性达0.1%/F.S,温度误差为0.0002%,耐压可达几百兆帕,过压保护范围可达传感器量程的20倍以上,并能进行大范围下的全温补偿。现阶段微机械压力传感器的

5、主要发展方向有以下几个方面。(1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成，研制智能化的压力传感器。(2)进一步提高压力传感器的灵敏度，实现低量程的微压传感器。(3)提高工作温度，研制高低温压力传感器。（4)开发谐振式压力传感器。1)项目技术创新点及描述MEMS压力传感器可以用类似集成电路（IC）设计技术和制造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产，从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门，使压力控制变得简单易用和智能化。传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形到电量转换输出，因此它不可能

6、如MEMS压力传感器那样做得像IC那么微小，成本也远远高于MEMS压力传感器。相对于传统的机械量传感器，MEMS压力传感器的尺寸更小，最大的不超过1cm，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。以下是mems压力传感器的工作原理、和市场应用MEMS压力传感器按原理分，有电容型、压阻型，压电式，金属应变式，光纤式等。重点介绍硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。Page12of12主要产品及服务硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。惠

7、斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。其电原理如图1所示。硅压阻式压力传感器其应变片电桥的光刻版本如图2。MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01%~0.03%FS。硅压阻式压力传感器结构如图3所示，上下二层是玻璃体，中间是硅片，硅片中部做成一应力杯，其应力硅薄膜上部有一真空腔，使之成为一个典型的绝压压力传感器。应力硅薄膜与真空腔接触这一面经光刻生成如图2

8、的电阻应变