电子级水中微粒的仪器测试方法

《电子级水中微粒的仪器测试方法》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、ICS31-030L90中华人民共和电子级水中微粒的仪器测试方法TestmethodforparticlesineIectronicgradewaterbyinstrument（报批稿）20XX-XX—XX发布20XX-XX-XX实施中华人民共禾口国国家质量监督检验检I芟总局家标准化管理委员会发布GB/T11446预计结构如下：电子级水；（待定）；电子级水测试方法通则；电子级水电阻率的测试方法；电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法;电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法；电子级水中痕虽:阴离子的离子色谱测试方法；电子级水中总有机碳的测试方法；电子级水中

2、微粒的仪器测试方法；GB/TGB/TGB/TGB/TGB/TGB/TGB/TGB/TGB/TGB/T11446.111446.211446.311446.411446.511446.611446.711446.811446.911446.10电子级水屮细菌总数的滤膜培养测试方法.本部分为GB/T11446的第9部分。本部分按照GB/T1.1-2009给岀的规则起草。本部分代替GB/T11446.9-1997《电子级水小微粒的仪器测试方法》。本部分与GB/T11446.9-1997相比，主要有下列变化：——匣新对“3.1微粒”进行了定义（见第3章）；—增加了“

3、5T扰因索”（见第5章）；——删除了“11注意事项”（1997年版的第11章）。——修订了PWJ定义。本部分由屮华人民共和国工业和信息化部提出。本部分由小国电子技术标准化研究院归Mo本部分起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验小心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。本部分主要起草人：王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。本部分所代替标准的历次版本发布情况为：-GB/T11446.9-1989、GB/T11446.9-1997。电子级水中微粒的仪器测试方法1范围GB/T11446的本部分规定了电了级水

4、中微粒的仪器测定方法。本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的微粒粒径不小于0.05um,微粒的浓度范围为（0〜10000）个/mLo2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注H期的引用文件，仅所注H期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T11446.l-20xx电了级水GB/T11446.3-20xx电子级水测试方法通则3术语和定义GB/T11446.3-20xx中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1微粒particIe粒状物，除去气体，非均匀地分散在水屮的

5、非液态物质。4方法原理一束经聚焦的激光垂直于水样流向方向入射，水中的微粒将产生光散射效应，散射光的强度与微粒的大小具有一定的关系，散射光经聚光镜会聚到光电倍增管，将光信号变成电脉冲，电脉冲的数冃和幅度分别与水屮微粒的数目和直径成正比。电脉冲信号经放人输入计算机处理示，可宜接获得微粒浓度的测量结果。测量原理方框图如图1所示。图1微粒测量原理方框图5干扰因素5.1采样过程，容器、环境及检测腔的污染，水中的气泡和测量过程的振动，水流速度的变化等因素都会影响测量结果，因此，测量应在100级或100级以上的洁净室内进行。水流速度应稳定。水样不能搅动，取样后应静置30m

6、in后再测定。国标5.2环境温度影响分析结果的稳定性，实验室和环境的温度应在10C〜30CZ间。5.3仪器止常与否直接影响测定结果，使用时应按国家规定的检定周期进行检定。6试剂6.1空白用水：GB/T11446.1-20XX规定的EWT级电子级水。7测量仪器带有微机的激光散射式亚微米级液体屮粒了计数和检测仪器。8操作步骤8.1仪器测试前的准备按仪器说明书开启电源，使仪器进入准备工作状态。8.2测试方式8.2.1连续采样先用去油洗涤剂清洗管道，再通EW-I级电子水冲洗30min,按仪器连续测试的操作规程进行测试。8.2.2单次采样先川去汕洗涤剂清洗采样瓶，再川

7、EW-I级电子级水清洗，然后取采样瓶4/5体积的水样并加盖證于洁净室中备用。采样瓶在取样前，用孔径0.02um微孔滤膜过滤过的水冲洗数次。取样时应防止外界的污染。然后按仪器单次测试的操作规程进行测量。9测量结果计算按公式（1）计算微粒数浓度：P（1）f=l式中：R—每升水样屮的微粒数，单位为个每升（个/L）；P,_第i次测量每升水样中的微粒数，单位为个每升（个/L）；n—则量的次数，n$5。10误差分析本方法的相对偏差小于20%。11报告测试报告应按GB/T11446.3-20xx给定格式进行编制。