pld法制备sns、zns薄膜及其器件的研究

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1、ＴＮ３０４：１０３巧分类号单位代码：卷级：：公开学号２０１３１７０５５３冬化义令义义ＨｅｆｅｉＵ打ｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｙ碱：ｂ学位论义Ｍ乂ＳＴＥＲＤＥＧＲＥＥＴＨＥＳＩＳ论文题白：ＰＬＤ法制备ＳｎＳＳ薄膜及其器件的研究、Ｚｎ学億类別：专业硕±Ｉ学科专业＾：集成电路工ｆｔ工巧臟）（户？杰４作巧姓名：马明一诗帅她名：梁齐副教授宛化时Ｉ川：２０化年４月ｍ，￥品麽ｆｅ．紐；；Ｉ禱ｉＰ＾＾ＰＷｉＷＷＩ！義单位代码：１０３５９密级：公立学号；２

2、０１Ｗ７０巧３分类号：ＴＮ３０４冬？化义令义考ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ硕±学位论女ＭＡＳＴＥＲ巧ＤＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ论文题目：ＰＬＤ法制备ＳｎＳ、ＺｎＳ薄膜及其器件的研究学位类别：专业硕击专业名称：集成电路工趕作者姓名：马明杰：梁齐副教授导师姓名完成时间：２０１６年４月合ＳＢ工业大学专业硕±学位论文ＰＬＤ法制备ＳｎＳ、ＺｎＳ薄膜及其器件的研究作者姓名：马明杰指导教师：梁齐副教授专业名称：集成电路工程■研究方向：微

3、纳功能材料与器件２０１６年４月ＡＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎＳｕｂｍｉ行ｅｄｆｏｒｔｈｅＤｅｒｅｅｏｆＭａｓｔｅｒｇＳ化ｄｏｆ細ＳＺｎＳ化ｉｎｆｉｌｍｓａｎｄｄｅｖｉｃｅｓｂＬＤｙ，ｙＰＢｙＭａＭｉｎｉｅｇｊＨｅ括ｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＨｅｆｅｉＡｎｈｕｉＰ．民．Ｃｈｉｎａ，，Ａｒｉｌ２０１６ｐ，合服工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业大学专业硕±学位论文质量要求。答辩委员会签名（工作单位、职称、姓名）主席；巾科院智能所研究员

4、委员：本若合！矣心肥工业大学教授合肥工业大学教授砰合肥工业大学副教授、＊每、也合肥工业大学副研究员令导师板＾名午＼学位论文独创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研巧工作所取得的成果。据我所知，除了文中特别加Ｗ标注和致谢的内容外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得合肥工业大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体，本人已在论文中作了明确的说明，并表示谢意。学位论文中表达的观点纯属作者本人观点，与合肥工业大学无关。：日学位

5、论文作者签名：＾签名日期年中月巧学位论文版权使用授权书太挙仿论专化者斋令了解合肥工化大学有关保留、使用学位论文的规定，目向国家有关部口或机构送交Ｐ：除保密期内的涉密学位论文外，学校有权保存并论文的复印件和电子光盘，允许论文被查阅或借阅。本人授权合肥工业大学可、缩Ｗ将本学位论文的全部或部分內容编入有关数据库，允许采用影印印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后适用本授权书）学位论文作者签名：為却杰指导教师签名：签名日期；＞年午月巧日签名日期：《年牛月日／《巧论文作者毕业去向工作单位：Ｅ－ｍａｉｌ：

6、联系电话：通讯地址：邮政编码：致谢时光飞逝，转眼间充实而快乐的Ｈ年研究生生涯即将过去，在这快乐的Ｈ年时间里，无论学习还是生活，我都有了很大程度的提高。我很感激有老师、同学和朋友的帮助。在此向曾经帮助过我的人表示衷也的感谢。首先，我吏也的感谢我的导师梁齐副教授，梁老师渊博的专业知识、严谨的、治学态度，诲人不倦的商尚师德，对工作精益求精的作风，宽Ｗ待人严于律己的崇高风范，Ｗ及朴实无华、平易近人的品格都对本人有很大影响。这Ｈ年来梁老师在实验、学习、生活等方面都给我Ｗ悉也的指导和关怀。在此谨向梁老师致诚擎的谢意和崇高的敬意。ｉ，感

7、谢其次，感谢同口好友刘磊同学刘磊在实验、数据分析ｌ＾ｌ及生活上给我一的帮助和鼓励。感谢师姐李琳、师兄余亮带着我步步的熟悉研究领域。感谢师一弟李学留、师妹刘丹丹分担的实验上的些任务。、再次，感谢室友马笼毛立坤在生活上对我的帮助。感谢王军、刘柱、赵泽、孙连领。方、李建军等好友陪我度过愉快的Ｈ年最后，衷也的感觉父母在精神、生活、经济等各方面的支持。本文工作来源于国家自然科学基金（５１２７２０６１），课题题目：同素异价ＳｎＳ２／ＳｎＳ异质结的近空间升华法制备及其对太阳电池光伏性能的影响。非常感谢该基金对本论文工作的支持。作