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时间:2019-03-21
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1、.,,;;;:圓;!;;,I<1朵击种成A葦UNILEIENIVERSTYOFECTRONICSCCEANDTECHNOLOGYOFCHINA硕±学位论文MASTERTHESIS绞绞■?■—.;?论文题目毫米波InPHBT关鍵芯片技术研究学科专业电磁場与微波技术学号201321020232作者姓名葛逢春指导教师延波研究员^’/|V'独剑性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究王作及取得的研究成果
2、。据我所知,除了文中特别加W标注和致谢的地方夕h论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。作者签名:《絲曰期:年女月乂日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定,有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可采印用影印、缩或扫描等复制手段保存、汇编学
3、位论文。(保密的学位论文)在解密后应遵守此规定主签作者签;棄:名杳导师名.谈__会日:月日期年/r/分类号密级注1UDC学位论文毫米波InPHBT关键芯片技术研究(题名和副题名)葛逢春(作者姓名)指导教师延波研究员电子科技大学成都(姓名、职称、单位名称)申请学位级别硕士学科专业电磁场与微波技术提交论文日期2016.04论文答辩日期2016.05.24学位授予单位和日期电子科技大学2016年6月答辩委员会主席评阅人注1:注明《国际十进分类法UDC》的类号。AResearchonInPHBTKeyChipTechnologyofMillimeterWaveAMa
4、sterThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:ElectromagneticFieldandMicrowaveTechnologyAuthor:FengchunGeSupervisor:Prof.BoYanSchool:SchoolofElectronicEngineering摘要摘要InPHBT以输出电导和基极电阻小、发射极耗尽电容低、击穿电场高、热导率好、相位噪声低、工作频率高等独特的优点,广泛应用到短毫米波放大器、压控振荡器等器件中,在航天、隐匿武器探测、军用、航天领域
5、起到了重要的作用。本文主要是基于InPHBT的小信号模型和大信号模型,进行压控振荡器和放大器设计,主要包括小信号模型设计的220GHz的MMIC放大器、大信号模型设计的70GHz的MMIC压控振荡器以及180GHz的MMIC压控振荡器,为后期340GHz的功率放大器和压控振荡器的设计提供宝贵经验,简要介绍下本文的内容。(1)基于InPHBT的小信号模型,管芯的栅宽为0.5µm,采用三级级联放大结构,实现220GHz的MMIC放大器的设计,版图联合仿真结果表明,增益在220GHz的时候达到3.8dB,输入输出回波损耗均优于10dB。对流片后的电路进行测试,得到如下结果,在180GH
6、z的时候电路增益达到6dB,在220GHz的时候增益为2dB,输入回波损耗优于10dB,输出回波损耗优于9dB。(2)基于InPHBT的模型设计的70GHz的压控振荡器,管芯的栅宽为1µm,采用双层工艺,传输线采用倒置微带线,电路结构为差分式结构,变容管采用的是晶体管的发射极和集电极相连的结构,缓冲电路采用射级跟随器,以防止外部电路阻抗变化对振荡环路的影响过大。版图联合仿真结果表明输出功率为-2.92dBm,调谐频率在72.4GHz到74.3GHz。(3)基于InPHBT模型设计的180GHz压控振荡器,管芯的栅宽为0.5µm,采用双层工艺,差分式电路结构,缓冲电路为射级跟随器。
7、仿真结果表明:输出频率为180GHz,在偏离载波频率10MHz处,其相位噪声为-92dBc/Hz,输出功率为-0.7dBm。关键词:InP异质结晶体管,压控振荡器,放大器,毫米波IABSTRACTABSTRACTInPHBTisplayinganimportantroleinaerospace,concealedweapondetection,militaryandaerospacefieldwithit’suniqueadvantagessuchassmalloutputcon
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