cigs薄膜的单靶溅射制备和热处理工艺研究

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1、擊娜誦画晒＿＾ｐｐｆｗ？胃顾ｉ学位论文．＾講刪ＴＥＲＤＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ磁ｆｃ论文题目＝ＣＩＧＳ薄膜的单麵射制热处理工艺研究Ｉ胃喔一．位类别：￣￣—学科专业禱二。－王年级：终一—１；；画屬指导教师；赵歷—余洲副贩－，，国内图书分类号：ＴＢ３４密级：公开国际图书分类号：西南交通大学研究生学位论文ＣＩＧＳ藻膜的単铅瓣射制备和热处理工芝研巧年级二〇—兰级姓名王丹申请挙位级别理学硕±专业凝聚态物理指导教师赵勇教授余洲副研究员二〇—六年五月ＣｌａｓｓｉｆｉｅｄＩｎｄｅｘ：ＴＢ３４Ｕ

2、．Ｄ．Ｃ：ＳｏｕｔｈｗｅｓｔＪｉａｏｔｏｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｇｙＭａｓｔｅｒＤｅｇｒｅｅＴｈｅｓｉｓ－ＰｒｅａｒａｔｉｏｎｂｓｉｎｌｅｔａｒｅｔｓｕｔｔｅｒｉｎａｎｄＳｔｕｄｉｅｓｐｙｇｇｐｇ－贷ｏｆ化ｅｈｅａｔｔｒｅａｔｍｅｎｔｒｏｃｅｓｓｏｆＣＩＧＳｔｈｉｎＩｍｐＧｒａｄｅ：２０１３Ｃａｎｄｉｄａｔｅ：ＤａｎＷａｎｇＡｃａｄｅｍｉｃＤｅｒｅｅＡｌｉｅｄｆｏｒ：ＭａｓｔｅｒｏｆｓｃｉｅｎｃｅｇｐｐＳｐｅｃｉａｌｉｔｙ：ＣｏｎｄｅｎｓｅｄｍａｔｔｅｒｐｈｙｓｉｃｓＳｕｐｅｒｖｉｓｏｒ：Ｐｒｏｆｅｓ

3、ｓｏｒＹｏｎｇＺｈａｏＡｓｓｏｃｉａｔｅＰｒｏ色ｓｓｏｒＺｈｏｕＹｕＭａ．２０１６ｙ西南交通大学学位论文版孜使用授枝书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被査阅和借阅。本人授权西南交通大学可Ｗ将本论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可Ｗ采用影印。、缩印或扫描等复印手段保存和汇编本学位论文＇本学位论文属于１．保密□，在年解密后适用本授权书；２．不保衝０＾使用本授权书。＂‘（请在Ｗ上方框内巧Ｖ）／Ａ学位论文作者签名；指导老师签

4、名：片；，＾￣￣￣ｄ＼日期：日期：．又＾兴分玉＿＞；乂ＪＴ，化西南交通大学硕±学位论文主要工作（贡献）声明本人在硕±学位论文中所做的主要工作或贡献如下：１．研究了热压烧结制备ＣＩＧＳ等化合物光伏陶瓷粗材制备工萃及其相关性能。２．通过单祀漉射不同烧结温度制的範材，在不同衬底温度下沉积薄膜，并研究其光电性能。３．通过在固态Ｓｅ源中退火，改善了薄膜的光电性能，制备出了性能较优的薄膜。一４、、Ｓｅ源．对觸材烧结单祀漉射薄膜薄膜在固态中退火进行了研究并得到定的规律。Ｗ上研究成果为魄材的制备到漉射制备髙效的ＣＩＧＳ太阳能电池的研究提供了工艺参数和探

5、索。：所呈交的学位论文本人郑重声明，是在导师指导下独立进行研究工作所得的成果。除文中己经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中作了明确说明。一本人完全了解违反上述声明所引起的切法律责任将由本人承担。学位论文作者签名：Ｖ曰期：兴《女化西南交通大学硕±研究生学位论文第Ｉ页摘要－光吸收系数离达（：〇＿方３１侣的（：１０５为黄铜矿结构的直接带隙型半导体，脚／；）９５－ｉｌ〇ｃｍ，适合制备薄膜太阳能电池。ＣＩＧＳ的禁带宽度可通过控制Ｇａ的渗入量在￣１１ｅ，。．０４．６

6、７Ｖ可调来实现光吸收与太阳光谱匹配ＣＩＧＳ光电转换效率离，光照下无一。性能衰减，是目前最具潜力的太阳能薄膜电池之本文主要对ＣＩＧＳ四元光伏鞭材、单範繊射ＣＩＧＳ薄膜及其薄膜砸化处理进行研究，探索热压烧结ＣＩＧＳ铅材制备工艺与ＣＩＧＳ薄膜制备及膜的砸化处理之间的联系。分别研究了烧结溫度对视材致密度，衬底温度、固态Ｓｅ源退火对沉积ＣＩＧＳ薄膜光电性能的影响，并探究之间的联系。（１）通过对ＣＩＧＳ鞭材的烧结工艺的探索，制备了致密度％％料上的符合漉射需’＂求的飽材，其中６３０Ｃ制备的範材致密对为９８．８５％。得出了在压为４５Ｍｐ，粒径７５ｕｍ，‘‘Ｃ￣Ｃ烧结时间

7、３ｈ条件下的较优烧结温度范围为６２０６５０。（２）对烧结的ＣＩＧＳ觀材在不同衬底温度下沉积ＣＩＧＳ薄膜，发现帮材致密度在９２％Ｗ上，则相同衬底温度制备薄膜与範材成分基本相同，与範材烧结温度关系不大。随着靴材烧结温度的升离，ＣＩＧＳ薄膜能在更低温度形成（２２０）择优取向。薄膜的形貌与報材烧结温度密切相关，可能是由于烧结温度使得制备的鞭材内致密度和化学缺陷改变使得晶粒生长行为发生变化。‘（３）