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时间:2019-03-18
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1、.??.?...';?t一.V-:的■?*■■.I分类号;TN303单位代码:10422密级:;公开学号201311427乂芝SHANDONGUNIVERSITY硕±学位论文ThesisforMasterDegree基于金*?1化4^8的?101器件论文题目:ThinFilmDevicesBasedonMe化1OxideMa化rialsV.作者姓名张角磊培养单位巧理学院体电子学专业名称巧电子
2、学与固巧爱民教巧指导教师合作导师2016年5月说日分类号:77^。3单位代码:10422"密级:公^学号:必巧知1^礁人/乂芝SHANDONGUNIVERSITY硕±学位论文ThesisforMasterDereeg论文题目:募子金庭tv於嫁化1曠繁呼.心乂^於於W,為所en的了如化W作者姓名多术的务培养单位歡^咳觀专业名称抑艾也易爾妹化之赁指导教师赛餐於U鞭合作导师年复月^^3日原创性声明本人郑重声明,:所呈交的
3、学位论文,是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中明确方式标明。。本声明的法律责任由本人承担1^■知b5.支9论文作者签名!长]巧表。日期:/:关于学位论文使用授权的声明本人完全了解山东大学有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留或向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权山东大学可W将本学位论文的全
4、部或部分内容编入有关数据库进行检索,可W采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。保密论文在解密后应遵守此规定)('.2來导师签名/女.:日期:论文作者签名:餐氏山东大学硕±学位论文目录@录iCONTENTSiv摘要IABSTRACTIll一第章绪论111.引言11-.2AIGZO薄膜晶体管的研究现状及应用11.3SnO巧膜晶体管的研究现状与应用31.4论文的主要内容4第二章实验设备介绍52.1DentonV
5、acuum射频谣控潔射仪5211..设备介绍521.2.设备工作原理62..13设备在本论文中的应用72.2HHVAuto500电子束蒸发锥膜仪721.2.设备介绍7222..设备工作原理82.9.23设备在本论文中的应用2.3SUSSMBJ4紫外曝光系统92.3.1设备介绍9232..设备工作原理102.3.3设备在本论文中的应用1124N.FEINovaanoSEM450扫描电子显微镜12
6、2.4.1设备介绍122.4.2设备工作原理13山东大学硕±学位论文24.3该14.设备在本论文中的应用第H章薄膜晶体管的工作原理巧3-.1AIGZO薄膜晶体管巧311-..AIGZO巧膜晶体管的器件结构153-12AZO巧膜化..IG晶体管的工作原理-3.1.3IGAZO巧膜晶体管的电学性能分析17-3ZO的电双层薄膜19.2基于aIG晶体管31.2.EDL巧膜晶体管的器件结构巧3.2.2EDL巧膜晶体管的工作原理1933Sn
7、.O巧膜晶体管203.3.1SnO巧膜晶体管的器件结构20第四章基于非晶氧化钢嫁巧的薄膜晶体管2241-I22.AGZO巧膜晶体管的制备流程4.1.1关于制备流程的详细说明224A-I.2GZO巧膜厚度对器件性能的影响274-.3覆盖PMMA对超薄aIGZO薄膜晶体管器件性能的影响2843128..烘烤溫度对于PMMA改善效果的影响4.3.2表面处理对于PMMA改善效果的影响29433-I30..PMMA对5nmaGZOTFT
8、器件性能的改善效果-4.3.4PMMA对4nmaIGZOTFT器件性能的改善效果32435-I..5nmaGZOTFT在覆盖PMMA之后的稳定性研究巧-4-4基于aIGZO的EDLTFT的制备344537.总结第五章基于氧化亚锡的薄膜晶体管3851.SnOTFT的制备流程385.2各部分结
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