基于金属氧化物的薄膜器件

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1、．？？．？．．．＇；？ｔ一．Ｖ－：的■？＊■■．Ｉ分类号；ＴＮ３０３单位代码：１０４２２密级：；公开学号２０１３１１４２７乂芝ＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ硕±学位论文ＴｈｅｓｉｓｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｇｒｅｅ基于金＊？１化４＾８的？１０１器件论文题目：ＴｈｉｎＦｉｌｍＤｅｖｉｃｅｓＢａｓｅｄｏｎＭｅ化１ＯｘｉｄｅＭａ化ｒｉａｌｓＶ．作者姓名张角磊培养单位巧理学院体电子学专业名称巧电子

2、学与固巧爱民教巧指导教师合作导师２０１６年５月说日分类号：７７＾。３单位代码：１０４２２＂密级：公＾学号：必巧知１＾礁人／乂芝ＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ硕±学位论文ＴｈｅｓｉｓｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｒｅｅｇ论文题目：募子金庭ｔｖ於嫁化１曠繁呼．心乂＾於於Ｗ，為所ｅｎ的了如化Ｗ作者姓名多术的务培养单位歡＾咳觀专业名称抑艾也易爾妹化之赁指导教师赛餐於Ｕ鞭合作导师年复月＾＾３日原创性声明本人郑重声明，：所呈交的

3、学位论文，是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中明确方式标明。。本声明的法律责任由本人承担１＾■知ｂ５．支９论文作者签名！长］巧表。日期：／：关于学位论文使用授权的声明本人完全了解山东大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留或向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权山东大学可Ｗ将本学位论文的全

4、部或部分内容编入有关数据库进行检索，可Ｗ采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。保密论文在解密后应遵守此规定）（＇．２來导师签名／女．：日期：论文作者签名：餐氏山东大学硕±学位论文目录＠录ｉＣＯＮＴＥＮＴＳｉｖ摘要ＩＡＢＳＴＲＡＣＴＩｌｌ一第章绪论１１１．引言１１－．２ＡＩＧＺＯ薄膜晶体管的研究现状及应用１１．３ＳｎＯ巧膜晶体管的研究现状与应用３１．４论文的主要内容４第二章实验设备介绍５２．１ＤｅｎｔｏｎＶ

5、ａｃｕｕｍ射频谣控潔射仪５２１１．．设备介绍５２１．２．设备工作原理６２．．１３设备在本论文中的应用７２．２ＨＨＶＡｕｔｏ５００电子束蒸发锥膜仪７２１．２．设备介绍７２２２．．设备工作原理８２．９．２３设备在本论文中的应用２．３ＳＵＳＳＭＢＪ４紫外曝光系统９２．３．１设备介绍９２３２．．设备工作原理１０２．３．３设备在本论文中的应用１１２４Ｎ．ＦＥＩＮｏｖａａｎｏＳＥＭ４５０扫描电子显微镜１２

6、２．４．１设备介绍１２２．４．２设备工作原理１３山东大学硕±学位论文２４．３该１４．设备在本论文中的应用第Ｈ章薄膜晶体管的工作原理巧３－．１ＡＩＧＺＯ薄膜晶体管巧３１１－．．ＡＩＧＺＯ巧膜晶体管的器件结构１５３－１２ＡＺＯ巧膜化．．ＩＧ晶体管的工作原理－３．１．３ＩＧＡＺＯ巧膜晶体管的电学性能分析１７－３ＺＯ的电双层薄膜１９．２基于ａＩＧ晶体管３１．２．ＥＤＬ巧膜晶体管的器件结构巧３．２．２ＥＤＬ巧膜晶体管的工作原理１９３３Ｓｎ

7、．Ｏ巧膜晶体管２０３．３．１ＳｎＯ巧膜晶体管的器件结构２０第四章基于非晶氧化钢嫁巧的薄膜晶体管２２４１－Ｉ２２．ＡＧＺＯ巧膜晶体管的制备流程４．１．１关于制备流程的详细说明２２４Ａ－Ｉ．２ＧＺＯ巧膜厚度对器件性能的影响２７４－．３覆盖ＰＭＭＡ对超薄ａＩＧＺＯ薄膜晶体管器件性能的影响２８４３１２８．．烘烤溫度对于ＰＭＭＡ改善效果的影响４．３．２表面处理对于ＰＭＭＡ改善效果的影响２９４３３－Ｉ３０．．ＰＭＭＡ对５ｎｍａＧＺＯＴＦＴ

8、器件性能的改善效果－４．３．４ＰＭＭＡ对４ｎｍａＩＧＺＯＴＦＴ器件性能的改善效果３２４３５－Ｉ．．５ｎｍａＧＺＯＴＦＴ在覆盖ＰＭＭＡ之后的稳定性研究巧－４－４基于ａＩＧＺＯ的ＥＤＬＴＦＴ的制备３４４５３７．总结第五章基于氧化亚锡的薄膜晶体管３８５１．ＳｎＯＴＦＴ的制备流程３８５．２各部分结