hcd法制备ito薄膜的研究

《hcd法制备ito薄膜的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、乂玉键大聋ＤＡＬＩＡＮＵＮＩ化ＲＳＩＴＹＯＦＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ工福破±享恆巧文ＭＡＳＴＥ民ＡＬＤＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ鐵ＨＣＤ法制备ＩＴＯ薄膜的研究工程领域集成电路工程作者姓名送＿＿勇＿指导教师＿＿＿＿＿唐墟塞＿＿教援２０１６６月Ｓ日答辩日期年专业学位硕±学位论文ＭＣＤ法制备盯０薄膜的研究ＴｈｅＲｅｓｅａｒｃｈｏｆＩＴＯＴｈｉｎＦｉｌｍＦａｂｒｉｃａｔｅｄＢＨＣＤＭｅｔｈｏｄｙ作者姓名：关勇工程领城集成电路工程学号；４１３０９１００指导教师；唐械安完成

2、日期：２０１６年６月５日大连理工大学ＤａｌｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。尽我所知，除文中邑经注明引用巧容和致谢的地方外，本论文不包含其他个人或集体＆经发表的研究成果，也不包含其他己申请学位或其他用途使用过的成果一。与我同工作的同志对本研究所做的贾献均＆在论文中做了明确的说明并表示了谢意。若有不实之处，本人愿意承担相关法律责任。学位论文题目：口冰法倫ＬＴ０缉诚如痛的１口作者签名／ｆｃ年６月Ｓ日；日期：＿

3、＿Ｊ４大连理工大学专业学位硕±学位论文摘要针对全球能源短缺、污染严重问题日益严重，节能环保将是未来全球亟待研究的重要课题。在照明领域，半导体照明即发光二极管，也叫ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔｅｍｉｔｉｎｇｄｉｏｄｅ），作为新型照明产品，有着节能、环保、寿命长等优点，正日益受到广泛关注。在诸多ＬＥＤ材料中，ＧａＮ基ＬＥＤ因其特有的禁带宽度而得到广泛应用。而打０薄膜卿ｄｉｕｍｔｉｎｏｘｉｄｅ）因其兼具导电和透光的特性被广泛的作为ＧａＮ基ＬＥＤ的电流扩展层。因此，本文Ｗ基于ＧａＮ基ＬＥＤ的ＩＴＯ薄膜为研究对象，分析了空屯阴极放电ＨＣＤ）法制备的ＩＴＯ（薄膜

4、的特性并探讨了不同特性的打０薄膜对ＧａＮ基ＬＥＤ的光电性能的影响。首先，本文研究了ＩＴＯ薄膜的机理、应用及发展现状及不同的制备方法制备出的打０薄膜的特性间的差异：分析了打０薄膜各项性能的测试方法Ｗ及作为ＧａＮ基ＬＥＤ电流扩展层的要求：兼具导电、透光、良好的欧姆接触特性和具备与其它膜层有着良好的披覆性。其次，研究了ＨＣＤ法（空也阴极放电法）及ＨＣＤ设备的基本原理。本文采用ＨＣＤ法制备出不同退火条件下的１Ｘ０薄膜，并对所有制备出的打０薄膜的厚度及退火条件对光电性的影响进行总结分析，分析出制备打〇最合理的薄膜厚度及最佳退火条件。并且通过改变沉积速率及氧气、氨

5、气流量的方式，总结出在不同条件下制备的打〇薄膜对ＧａＮ基ＬＥＤ光电性的影响结果。最后，为了验证所分析出的实验数据有效性和最优性，本文研究比较了ＨＣＤ法制－Ｂｅａｍ法制备打０薄膜的性能差异备的打０薄膜与传统Ｅ，并结合ＨＣＤ法制备打０薄膜的相关披覆性，进而得出使ＧａＮ基ＬＥＤ光电性能达到最佳的ＩＴＯ薄膜。关键词：ＩＴ０薄膜ＬＥＤ光电化能；ＧａＮ基；；－－Ｉ大连理工大学专业学位硕女学位论文ＴｈｅＲｅｓｅａｒｃｈｏｆＩＴＯＴｈｉｎＦｉｌｍＦａｂｒｉｃａｔｅｄＢＨＣＤＭｅｔｈｏｄｙＡｂｓ化ａｃｔＷｉｔｈｌｏｂａｌｅｎｅｒｇｙｓｈｏ

6、ｒｔａｇｅａｎｄｉｎｃｒｅａｓｉｎｌｙｓｅｒｉｏｕｓｐｏｌｌｕｔｉｏｎｐｒｏｂｌｅｍｓｅｎｅｒｇｇ，ｇｙｃｏｎｓｅｒｖａｔｉｏｎａｎｄｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌｒｏｔｅｃｔｉｏｎｗｉｌｌｂｅａｎｉｍｏｒｔａｎｔｉｓｓｕｅｔ：ｏｂｅｓｔｕｄｉｅｄｉｎｔｈｅｐｐｆｕｔｕｒｅ．虹ｔｈｅｆｉｅｌｄｏｆｌｉｇｈｔｉｎｇＬＥＤｅｍｉｔｉｎｄｉｏｄｅＬｉｈｔａｓ江ｎｅｗｔｅｏｆｌｉ班ｔｉｎｒｏｄｕｃｔｓ，（ｇｇ）ｙｐｇｐ，ｈａｓ化ｅａｄｖａｎｔａｇｅｓｏｆｅｎｅｒｇｙｓａｖｉｎｇ，ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌ

7、ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ，Ｌｏｎｇｓｅｒｖｉｃｅｌｉｆｅａｎｄｓｏｏｎ．Ａｎｄ化ｉｓａｌｓｏｉｎｃｒｅａｓｉ打ｇｌｙｂｅｉｎｗｉｄｅｌＣＯ打ｃｅｍｅｄ．Ａｔｔｈｅｓａｍｅｔｉｍｅ化ｅＩＴＯＩｎｄｉｕｍｔｉｎ呂ｙ，（ｏ义ｉｄｅｈａｓ化ｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｂｏｔｈｃｏｎｄｕｃｔｉｖｉｔａｎｄｌｉｈｔｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｗｈｉｃｈｉｓｗｉｄｅｌ）ｙｇ，ｙ