紫外微型光谱仪的光学设计及其探测器紫外增敏技术研究

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1、．、．１■．中＊討《杂化ＣＨＩＮＡｉＬＩＡＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ；Ｊ硕ｄ：学位论文ＭＡＳＴＥ民ｒａＳ沈民ＴＡＴＩＯＮ紫外微巧化谱仪的光学设辻及其探测器紫外增敏技术研寃ｔｔｅｍＤｅｓｉｎＯｆａＭｉｎｉａｔｕｒｅＵＹ＿ＯｉｃａｌＳｙｓｇｐ－ＥｎｈａｎｃｅｍｅｎｔＳｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒＡｎｄＳｔｕｄｙＯｆＵＶ＿ｐＴｅｃｈｎｏＤｅｔｅｃｔ迎ｌｏｇｙｏｎ化作者王瑞导）副教授１币裘燕青学科光学工程中国计量学院二〇—六年二月Ｉ■独创性声明本人芦明所呈交的学位论文是

2、本人在；导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果，除了文中特别加标注和致谢之处外，论文中不包含巧他人已经发表或撰写过的研究成果，化不包含为获得中国计量学院或其他教脊机构的学位或证书而使用过的材料。与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示了谢意。：：１。年曰学位论文作者签名义接證字曰期１（月ｖＳＴ学位论文版权使用授权书本学位论文作肴完全了懈中国计量学院有关保留、使讯学位论文的规定。特授权中国计量学院可Ｗ将学位论文的全部或部分内容编入有关数，并采Ｗ影印、汇编供查阅和借据库进斤检索、缩印或扫描等复制

3、手段保存盘。阅。同寇学校向圃家有关部口或机构送交论文的复印件和磁（保密的学位论文在解密后适用本授权说明）学位论文作者签名：导师签名：签了乎日期：钟乏月日签字日期：知＾月ＵOpticalSystemDesignOfaMiniatureUVSpectrometerAndStudyOfUV-EnhancementTechnologyOfItsDetectorByLuWangADissertationSubmittedtoChinaJiliangUniversityInpartialfulfillmentoftherequirementForthede

4、greeofMasterofEngineeringChinaJiliangUniversityMarch,2016中图分类TH744学校代码10356UDC535密级公开硕士学位论文MASTERDISSERTATION紫外微型光谱仪的光学设计及其探测器紫外增敏技术研究OpticalSystemDesignOfaMiniatureUVSpectrometerAndStudyOfUV-EnhancementTechnologyOfItsDetector作者王璐导师裘燕青副教授申请学位工学硕士培养单位中国计量学院学科专业光学工程研究方向光谱仪器二〇一六年三月致谢时光荏苒，

5、转眼硕士生涯已接近尾声，在这即将完成学业踏出校门之际，我要衷心感谢那些在这近三年时光里曾经关心和帮助过我的人。首先要感谢我的导师裘燕青副教授。在我攻读硕士学位期间，裘老师在学习和生活上给予了我很多的指导、关怀和帮助。本论文从最初的选题到研究工作的展开直至最终论文的完成，都离不开裘老师的悉心指导。在此谨向裘老师致以诚挚的谢意和崇高的敬意。另外要感谢我的同学张宏、沈晔等，我的师弟张刘刘、岑助甫等，还有赛博南楼209实验室的小伙伴们。在我的学习、生活和实验研究中给予的帮助与支持，我整个硕士阶段学习的顺利完成与大家的共勉互助是分不开的。最后我要特别感谢养育我的父母在这二十多

6、年里对我的关心、支持和理解，使我得以顺利完成学业。还有我的前男朋友，感谢他一直以来对我学习、工作的每一个阶段的理解和支持，对我生活、健康的每一种状态的照顾与陪伴，我在这几年里的每一点进步和成长都离不开他的关怀、付出和默默支持。同时也对曾给予我帮助和关心的老师、同学和朋友表示衷心的感谢!由于作者水平有限，论文存在纰漏和不足之处，诚望读者给予批评指正！王璐2015年11月紫外微型光谱仪的光学设计及其探测器紫外增敏技术研究摘要：近年来，随着紫外微型光谱仪在分析化学、农药残留检测、水质监测等领域的应用越来越广泛，对光谱仪的像差、分辨率和光谱范围等性能要求也不断提高。本论文基

7、于交叉非对称的切尔尼-特纳光路结构设计了紫外微型光谱仪的光学系统，使用ZEMAX软件对光路进行了模拟、优化和像质评价。同时，为解决光谱仪中前照式CCD探测器对紫外光谱弱响应的问题，开展了对该类探测器的紫外响应增强技术研究。除去CCD的表面玻璃保护罩，基于旋涂法将荧光粉LumogenS0795镀膜在CCD像敏面上，利用荧光效应实现紫外光-可见光的波长转换，增强CCD对紫外光谱的响应能力。最后，基于以上光学设计，自行研制并装调了一台光谱仪样机。通过对比CCD镀膜前后在光谱仪器中对紫外光谱的不同响应，对紫外增敏技术进行了评价，同时对CCD紫外增敏后光谱仪系统的分辨率等