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1、群翩思翻翼蒸嘟嘿绷翠麟瀚段圈脚一一文章编号紫外探测器‘,‘,‘,“,,’成彩晶鲁正雄司俊杰陈志忠张国义孙维国中国空空导弹研究院,洛阳北京大学物理系,北京一一一摘要用通过生长的未掺杂的!∀制备了金属半导体金属结构紫外探测器器件在偏压时的暗电流为,在偏压时的暗电流,,为在偏压下和处探测器的电流响应率为在菠长,二一二波长处
2、有陡峭的截止边这与文献中介绍的探测器在二时截止波长为‘相下致关镇词暗电流响应率光谱响应中图分类号文献标识码入入,,,一,一〔一牙一日〔“日。宜几五月仍,尸苗即七叮奴,
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5、民两用光电探测技术因为Al具有相当高的迁移率有陡峭的,,紫外探测器能探测到飞机、火箭和导弹等飞行目截止边和较高的量子效率表面复合率低在苛,标的,刻的物理和化学环境中具有很高的稳定性其尾焰或羽焰中释放出的大量紫外辐射所以;,如光在军用方面可以应用于空间防务和报警系统在性能大大超过了传统的紫外探测器阴极.民用方面可用于火灾监控、汽车发动机监测、石和固态探测器以及Si和SIC探测器,MsM光伏探测器由两个叉指形的背靠背肖油工业和环境污染的监测等具有广阔的应用前3].二al一二,,景,12m族氮化物AlGN是宽禁带的直接特基二极管
6、组成它不需要进行p型掺杂结构,二al_二,,,带隙半导体材料其三元合金AlGN的带隙简单造价低易于集成并且有高灵敏度和高可随AI组分nmx=ox=z,.的变化在365()到20o()响应度等晰芋点因此得到了人们的普遍关注本run..的范围内调节由于该范围覆盖了地球上大气文介绍用丫QCVD生长的未掺杂的n-Alo3Gao7N:收稿B期2005一11一8作者简介:成彩1976,,,工程师,主要从李光电子器件方面的研究.晶()男湖北汉川人一INFRAREDMONTHoL.27,o.5,2006(LY)/VNM盯口州..口自.帅口
7、.....,探制备的MSM结构紫外探测器并测试了该器件测器的响应率和相对光谱响应曲线侧试的l-v特性曲线、响应率.,和相对光谱响应曲线所用的光源是功率为350W的氮灯调制频率为.,2实验290E吃探测器串联两个负载电阻和电源形成,一个回路通过其中的一个负载电阻取得光电实验样品是由北大物理系提供的未掺杂,n一a.流信号探测器接收到的辐照功率通过紫外辐的AIGN它是用金属有机化学气相沉积..,射功率计测得(Moc)方法制备的样品衬底是蓝宝石vDo.3G7N.5拼a结构为,Alao(0m)/AIN(15)/GN3实验.,.nm结
8、果与分析12#m()/蓝宝石如图1(a)所示样品做了预,aN图2为AIGaNMSM探测器在室温下测试时清洗先用有机溶剂除去G表面的有机物和.,一,的暗电流的Iv特性曲线可以看出在2.5V偏无机物等脏物然后用沸腾的王水除去GaN表.,面,3压时的暗电流为IPA在6.5V偏压时的暗电流的本征氧化层接着通过热
