石墨衬底上制备sic薄膜的研究

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1、分类号：TM23密级：公开论文编号：201601031313贵州大学2016届硕士研究生学位论文石墨衬底上制备SiC薄膜的研究学科专业：微电子学与固体电子学研究方向：新型固体电子材料与器件导师：谢泉教授研究生：艾学正中国﹒贵州﹒贵阳2016年5月I贵州大学硕士毕业论文目录目录...............................................................................................................................

2、.............................I摘要............................................................................................................................................................1Abstract....................................................................

3、..................................................................................2第一章绪论..............................................................................................................................................31.1SiC材料的结构与性质....................

4、...........................................................................................31.1.1SiC材料的结构................................................................................................................31.1.2SiC材料物理和化学的性质.............................

5、...............................................................41.1.3SiC材料的光电性质........................................................................................................51.2SiC材料的应用与发展...................................................................

6、............................................61.3SiC材料制备的国内外研究现状...............................................................................................71.3.1化学汽相沉积...............................................................................................

7、....................71.3.2物理汽相沉积.................................................................................................................101.4本论文的主要研究工作.........................................................................................................

8、...121.5本章小结....................................................................................................................................1