有机电子器件高柔性电极研究

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1、分类号：TN3单位代码：10183研究生学号：研2013514004密级：公开吉林大学硕士学位论文（专业学位）有机电子器件高柔性电极研究Researchtowardthehighflexibleelectrodeappliedtoorganicelectronics作者姓名：段亚会类别：工程硕士领域（方向）：集成电路工程指导教师：刘大力教授培养单位：电子科学与工程学院2016年6月未经本论义作者的书面授权，依法收存和保管本论义书面版本、电子版本的任何单位巧个人，均不得对本论文的全部或部分内容进行任何形式的复制、修改、发行、出租、改

2、编等有碍作者著作权的商业性使用（但纯学术性使用不在此限）。否则，应承担侵权的法律责任。吉林大学博±（或硕±）学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交学位论文，是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中己经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，巧己在文中封明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：曰期Ｔｃｖ＾：ｉ年月４曰有机电子器件高柔性电极研究Researchtowardthe

3、highflexibleelectrodeappliedtoorganicelectronics作者姓名：段亚会领域（方向）：集成电路工程指导教师：刘大力教授类别：工程硕士答辩日期：2016年5月30日摘要有机电子器件高柔性电极研究有机电致发光器件（Organiclightemittingdiode,OLED）由于具有自主发光、超薄、响应速度快、可制作成大面积等特点被认为是继液晶显示后的新一代显示技术。OLED能制作成可弯曲可折叠的柔性显示，被誉为“梦幻显示器”。柔性显示的实现目前还存在着许多的问题，其中柔性衬底和柔性电极是两个关键的因素。在

4、本文中，我们将银纳米线-光交联聚合物薄膜相结合，其中，银纳米线作为柔性透明电极，光交联聚合物作为柔性衬底。我们以此来制作柔性OLED，并通过柔性测试验证了柔性电极具有良好的弯曲性能。采用较低温度（60℃）条件下原子层沉积（Atomiclayerdeposition，ALD）方法生长的氧化锌薄膜与银纳米线相结合，进一步改善了原有银纳米线电极的性能。本文首先对柔性电子技术进行介绍，进一步概述柔性OLED的发展，然后对柔性OLED的关键性问题进行分析，包括机械性能、寿命、光学性能及电学性能几个方面，以此作为本课题的研究基础。我们主要是采用衬底剥离技

5、术结合旋涂方法，在聚合物衬底上得到银纳米线电极。用这种方法制备的银纳米线电极，平均表面粗糙度与硅衬底近似，这也是柔性OLED具有良好性能的重要原因。通过优化银纳米线溶液的浓度，我们采用5mg/ml的来制备银纳米线电极，最终得到的银纳米线电极电阻为45.7Ω/口，基于这种电极制备的柔性OLED最大电流效率为13cd/A，相同的器件结构下，可以与传统的以ITO为阳极，以PET为衬底的柔性器件相媲美。更值得一提的是，这种方法制备的银纳米线-聚合物薄膜在2mm的曲率半径下仍然能保持稳定的机械柔韧性。为了进一步改善银纳米线电极的导电性能，我们制作了一种

6、复合电极，即将银纳米线网络与低温ALD方法制备的氧化锌相结合。氧化锌能够有效地填充银纳米线组成的交织“网络”的空隙，增加纳米线的接触，使得连通更加有效率，另一方面是改善了银纳米线与有机层的界面接触，提高载流子注入和取出水平。我们制作单载流子器件——空穴注入器件来验证低温生长的氧化锌的作用。最后我们得出结论，低温ALD生长的氧化锌有助于银纳米线电极发挥更好的作用。i关键词：银纳米线，衬底剥离，柔性有机发光二极管，光交联聚合物，氧化锌，低温原子层沉积iiAbstractResearchtowardthehighflexibleelectrodea

7、ppliedtoorganicelectronicsOLEDisconsideredtobeanewgenerationdisplaytechnologyaftertheliquidcrystaldisplay(LCD)onaccountofmanyadvantageousfeatures,suchasactivelightemitting,ultrathin,fastresponsespeed,canbemadeintolargeareadevices,ect.Itisknownas“dreamdisplays”bywhichcanreal

8、izeflexiblefoldabledisplays.However,flexibleOLEDislimitedbymanyreasons.Amongthem,f