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《基于原子层与分子层沉积相结合的混合薄膜封装技术》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、分类号：ＴＮ３单位代码；１０１８３研巧生学号：２０１３５１２０５８密级；公开參吉林大学硕古学位论文学术学化（）基于原子层与分子层沉积相结合的混合巧膜封装技术ＴｈｅｈｙｂｒｉｄｔｈｉｎｆｉｌｍｅｎｃａｐｓｕｌａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｂａｓｅｄｏｎＡＬＤａｎｄＭＬＤ作者姓名：王潇专业：微电子学与固体电子学硏巧方向；有机电致发化器件的薄膜封装指导教师！段羽教授培养单位：电子科学与工程学院２０１６年６月未经本论文作者的书面授权，依法收存
2、巧保管本论文书面版本、电子版本的任何单位和个人，均不得对本论文的全部或部分内容进行任何形式的复制、修改、发行、出租、改编等有碍作者著作枚的商业性使用（但纯学术性使用不在此限）。否则，应承担侵权的法律责任。吉林大学硕±学位论文原创性声明：所呈交的硕±学位论文本人郑重声明，是本人在指导教师的指导下。，独立进行研究工作所取得的成果除文中已经注明引用的内容夕、，Ｉ本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均ｄ巧文中臥明确方式标
3、明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。＇学位论文作者签名：曰期＾＞；２０１６年月＾口基于原子层与分子层沉积相结合的混合薄膜封装技术ThehybridthinfilmencapsulationmethodbasedonALDandMLD作者姓名：王潇领域（方向）：有机电致发光器件的薄膜封装指导教师：段羽教授类别：理学硕士答辩日期：2016年5月31日摘要有机电致发光器件(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)由于具备自发光、高亮度，高对比度、快响应速度，柔性等一系列
4、优势，在未来的显示，照明等领域具有非常广阔的应用前景。然而，OLED的发展还面临着诸多挑战，其中最主要的一点是解决器件由于暴露于空气中的水汽，氧气而失效的问题。针对该问题，薄膜封装作为一种阻隔水氧渗透的有效手段被人们广泛研究。本论文针对OLED的水氧渗透性问题，提出了采用原子层沉积（Atomiclayerdeposition，ALD）与分子层沉积（Molecularlayerdeposition，MLD）相结合制备有机/无机混合封装薄膜的方法。在低温80℃条件下制备了具有高水氧阻隔特性的混合封装薄膜，并通过对反
5、应气体的优化，以及对有机无机叠层厚度的调节，提高了薄膜的成膜质量，延长了器件寿命。本论文首先介绍了OLED器件的基本结构及发光机理，并以此为基础分析了OLED器件的失效机理以及封装技术的产生与发展。本论文在低温80℃条件下，采用三甲基铝（Trinethyluminium,TMA）与不同反应气体(水或臭氧)作用制备无机薄膜Al2O3，同时,再利用TMA与乙二醇(ethyleneglycol,EG)反应制备有机薄膜聚乙二醇铝（poly(aluminumethyleneglycol)polymer，alucone），
6、通过对比不同有机/无机叠层个数下的薄膜表面形貌及电学性质，发现采用臭氧作反应气体制备薄膜不但可以缩短反应时间，还可以增加薄膜表面平整性,提高封装性能。并通过亮度随时间的衰减曲线发现臭氧作反应气体的混合薄膜封装后的器件寿命是水作反应气体的2倍。为了进一步优化混合薄膜的封装性能并探究其柔性封装效果，我们选择PET作为衬底，仍然在80℃的沉积温度下,将4nmalucone有机薄膜插入Al2O3无机薄膜中,形成有机/无机交替的柔性叠层结构，在总厚度一致的条件下与单纯的Al2O3无机薄膜对比,发现这种有机/无机柔性混合薄
7、膜无论在弯曲测试前后,都能保持较低的表面粗糙度和水汽渗透速率（WaterVaporTransmissionRate,-52WVTR）。弯曲测试后的WVTR可达7.1×10g/（m·day）。通过光学显微镜观察,这种有机无机交叠的柔性混合薄膜弯曲后没有出现明显的表面裂纹,通过光学透过率测试，该柔性混合薄膜在可见光范围内具有69%的透过率，可作柔性OLED器件的封装层。关键词：有机电致发光器件，薄膜封装，原子层沉积，分子层沉积，水汽渗透速率AbstractOrganiclightemittingdiode(OLED
8、)possessmanyadvantagessuchas:self-luminous,highbrightness,highcontrastratio,fastresponseandflexibility,etc.Theyhavemanyapplicationsinlightinganddisplayareainthefuture.However,therearestillsomech
