一种1200v场截止型igbt的优化设计与测试

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1、矣击种成Ａ葦ＩＩ专业学位硕±学位论文ＭＡＳＴＥＲＴＨＥＳＩＳＦＯＲＰＲＯＦＥＳＳＩＯＮＡＬＤＥＧＲＥＥ论文题目一种１２００Ｖ场截止型ＩＧＢＴ的优化设计与测试：咕？专化学位类别工程硕±学号２０１３２２１７０２１６化者姓名孔梓讳指导教师张庶副教授？独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加示注和致谢的地方夕ｈ，论文中不包含其他人已经发表或

2、撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明碗的说明并表示谢意。＾作者签名日期：２＾年月曰：批／占＞以！论丈使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学巧Ｗ将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索、缩印或扫描，可抖采用影印

3、等复制手段保存。、汇编学位论文（保密的学位论文在解密后应遵守此规定．）作者签名导师签名：３廷；＿＿胥曰期：ｋ）始６月曰（［分类号密级注1UDC学位论文一种1200V场截止型IGBT的优化设计与测试（题名和副题名）孔梓玮（作者姓名）指导教师张庶副教授电子科技大学成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕士专业学位类别工程硕士工程领域名称材料工程提交论文日期2016.03.04论文答辩日期2016.05.17学位授予单位和日期电子科技大学2016.06.27答辩委员会主席评阅人注1

4、：注明《国际十进分类法UDC》的类号。OPTIMUMDESIGNANDTESTINGOFA1200VFIELDSTOPIGBTAMasterThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:MasterofEngineeringAuthor:ZiweiKongSupervisor:ShuZhangSchool:SchoolofEnergyScienceandEngineering摘要摘要随着国内经济的高速

5、增长，新能源产业的蓬勃发展，能源也必须获得更高效的利用。因此需要对现有的功率器件进行改进，从而降低器件自身能耗，使得能源消耗减少。而绝缘栅双极性晶体管（IGBT）作为一种拥有高耐压，低导通压降等优良电学特性的功率器件，在电力电子领域中发挥着重要作用，拥有广阔的应用前景。然而由于国内目前比较欠缺新一代IGBT技术（如场截止技术，沟槽栅技术），导致在很多关乎到国计民生的领域中受制于人，亟需IGBT技术的国产化。基于此，对IGBT场截止技术的研究有着重大意义。而针对IGBT的场截止技术的研究，本文重点探

6、讨场截止层的浓度分布，其主要内容为：1.简单概述IGBT的基本理论以及各项新技术的发展：如场截止技术，载流子存储技术，注入增强技术等，并重点分析场截止技术中器件结构参数对性能的影响，从而对器件的优化进行理论指导。2.为了确定器件的正面结构，先在现有的工艺条件下，确定了工艺流程。接下来利用仿真软件SentaurusTCAD进行了1200VNPT-IGBT的工艺建模并进行电学参数特性模拟以便优化器件结构的正面参数并作为对比对象与后续器件结构进行对比。3.在已经确定的正面工艺模型的基础上，通过模拟场截止

7、（FS）层的浓度分布（双峰分布）进行结构背面建模，并与实际流片测试结果进行比对来验证建立的模型的准确性。4.将建立好的FS-IGBT模型的电学特性模拟结果与NPT-IGBT进行对比从而便于探讨场截止技术的优劣之处以及后续对工艺流程和参数的改进，为器件的大规模制造生产提供参考。关键词：IGBT，FS结构，双峰分布，电学特性IABSTACTABSTRACTWiththerapidgrowthofChineseeconomyandcontinuousdevelopmentofnewenergyindus

8、try,inordertohigh-efficientlyuseenergy,wemustimproveexistingpowerdevicestoreducedevicesselfenergyconsumption.InsulatedGateBipolarTransistor(IGBT)whichhashighbreakdownvoltage,lowconductvoltageandsomeotherexcellentelectriccharacteristics,playani