lspr接触光刻探针的检测实验研究

《lspr接触光刻探针的检测实验研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、Ｉ４击种成Ａ香ＵＮＦＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳＣＩＥＮＣＥＡＮＤＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＯＦＣＨＩＮＡＩＶＥＲＳＩＴＹＯＩ（专业学位硕±学位论文ＩＯＮＡＬＤＥＧＲＥＥＭＡＳＴＥＲＴＨＥＳＩＳＦＯＲＰＲＯＦＥＳＳ叫椒ｗ．皆论支题呂ＬＳＰ民接触光刻探针的检测实验妍究．；．：：专业学位类别工程硕击马学号２０１３２２０８０４２０作者姓名刘海波指肆教师王瞧副教授１单分类号密级注1UDC学位论文LSPR接触光刻探针的检测实验研究（题名和副题名

2、）刘海波（作者姓名）指导教师王皓副教授电子科技大学成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕士专业学位类别工程硕士工程领域名称机械工程提交论文日期2016.04.05论文答辩日期2016.05.10学位授予单位和日期电子科技大学2016年06月答辩委员会主席评阅人注1：注明《国际十进分类法UDC》的类RESEARCHONEXPERIMENTANDDETECTIONOFLSPRCONTACTLITHOGRAPHYPROBAMasterThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTech

3、nologyofChinaMajor:MasterofEngineeringAuthor:LiuHaiboAdvisor:AssociateProfessorWangHaoSchool:SchoolofMechatronicsEngineeringofUESTC独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加标注和致谢的地方夕ｈ论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志

4、对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。作者签名；期；＞八年Ｊ月日＿日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可将学位论文的全、部或部分内容编入有关数据库进行检索，可Ｗ采用影印缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）作者签名；本；為导师签名：；东］‘夫曰期；年／月曰／摘要摘要局域表面等离子体共振（

5、LocalizedSurfacePlasmonResonance，LSPR）接触光刻技术相较于传统光学光刻技术，具有无掩模、图形质量与分辨率高、低光刻成本等特点，是一种很具潜力的新型光刻技术。国内外在对LSPR接触光刻技术研究时主要集中于探针结构方面，对探针姿态的检测方面鲜有研究。探针的姿态对光刻质量具有很大影响，光刻过程中探针偏角大于100μrad时，会产生漏光现象，导致光刻失败，所以对探针姿态的检测研究具有重要的意义。本课题来源于中科院光电所国家重点实验室开放课题“纳米直写实验运动平台研制”，根据课题要求需要搭建一套检测系统用于探针

6、的姿态检测和实验研究，满足对探针初始预压量控制、初始偏角调整、最大扫描偏角与扫描过程姿态稳定性检测要求。本文以光电检测技术为基础，设计了基于位置敏感探测器（PSD）的微位移与微小角度检测系统，并进行相关实验研究，达到了预期效果。首先，在课题组对检测方案前期研究基础上，根据检测指标要求设计了以光束偏转法为基础的微位移与微小角度检测方案，将探针的姿态检测转化为对光电传感器上光斑位移的检测。以PSD作为光电传感器、He-Ne激光器做为入射光源，通过对PSD光斑位置检测原理分析得到了光斑位置坐标与PSD输出电压的关系，为后续软件设计提供了理论依

7、据。基于检测方案和系统设计要求进行了检测平台与整体光刻实验平台的搭建，为探针的实验研究提供了平台。其次，以Labview平台为基础进行了检测系统的软件设计，可实现光斑位置数据采集、微位移运动台控制、不同格式光刻图形文件导入与曝光控制等功能。通过实验标定与光路理论模型分析确定了系统标定函数，并对系统误差的主要影响因素进行了理论与实验分析，得出了系统位移测量分辨力为1.4μm，对Y轴偏角测量分辨力为8.5μrad，满足最初提出的检测指标要求。最后，基于搭建的实验平台进行了检测系统实验，实现了对探针初始预压量1μm的控制，对探针的初始偏角调整

8、满足实验要求。利用改进后的探针模块实现了探针最大偏角不超过80μrad的检测，并能对扫描过程中偏角稳定性实时检测，探针最大满偏位移为50μm，满足光刻实验要求。关键词：接触光刻，微小角度检测，光斑位置检测，