ingaas量子点生长均匀性可控性研究

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1、分类号：TN3;O47密级：公开论文编号：2013021053贵州大学2016届硕士研究生学位论文InGaAs量子点生长均匀性可控性研究学科专业：微电子学与固体电子学研究方向：低维半导体材料导师：丁召教授研究生：赵振中国﹒贵州﹒贵阳2016年6月目录摘要....................................................................................................................................

2、......IAbstract.....................................................................................................................................II第一章绪论........................................................................................................

3、.....................11.1低维材料分类................................................................................................................11.2低维半导体器件的发展历程........................................................................................31.3量子点简介...

4、.................................................................................................................41.3.1什么是量子点.........................................................................................................41.3.2量子点的应用.................

5、........................................................................................41.3.3量子点的制备.........................................................................................................51.4半导体材料外延生长简介.......................................

6、.....................................................61.4.1半导体材料外延生长的三种模式.........................................................................61.4.2外延生长的热力学解释.........................................................................................71.5本文研究

7、内容.................................................................................................................9第二章实验系统介绍...........................................................................................................112.1MBE介绍.................

8、.....................................................................................................112.1.1超高真空系统.........................................................................