sm基永磁体高压渗氮粉体及薄膜的制备与性能研究

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1、单位代码10144分类号丁&彳编号硕士学位论文题________目Snv基^考备私_____________祕咖剜⑯隨辦研究生姓名m_________________(届蜘被电士噔专业）导师姓名剎、/v#_________________论文完成日期尚_________________aik^^$ShenyangLigongUniversity沈阳理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：本论文的所有工作，是在导师的指导下，由作者本人独立完成的。有关观点、方法、数据和文献的引用己在文中指出，并与参考文献相对应。除文中己注明引用的内容外，本论文不

2、包含任何其他个人或集体己经公开发表的作品成果。对本文的研宄做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者（签字）：曰期：WIT年3月8曰学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解沈阳理工大学有关保留、使用学位论文的规定，g卩：沈阳理工大学有权保留并向国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权沈阳理工大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其它复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书）学位论文作者签名

3、：名：+/物表指导教师签名：>期：日期：分类号：TB4密级：ＵＤＣ：620编号：工学硕士学位论文Sm基永磁体高压渗氮粉体及薄膜的制备与性能研究硕士研究生：杜胜杰指导教师：孙乃坤副教授学科、专业：物理电子学沈阳理工大学2015年3月分类号：TB4密级：ＵＤＣ：620编号：工学硕士学位论文Sm基永磁体高压渗氮粉体及薄膜的制备与性能研究硕士研究生：杜胜杰指导教师：孙乃坤副教授学位级别：工学硕士学科、专业：物理电子学所在单位：理学院论文提交日期：2014年12月论文答辩日期：2014年3月学位授予单位：沈阳理工大学ClassificationIndex:

4、TB4U.D.C:620AThesisfortheMasterDegreeofEngineeringPreparationandperformancestudyofhighpressurenitrogenatedpowdersandthinfilmsofSm-basedpermanentmagnetsCandidate:DuShengjieSupervisor:AssociateProf.SunNaikunAcademicDegreeAppliedfor:MasterofEngineeringSpecialty:PhysicalElectroni

5、csDateofSubmission:December,2014DateofExamination:March,2015University:ShenyangLigongUniversity沈阳理工大学硕士学位论文摘要本文采用电弧熔炼法制备了Sm2(FexCo1-x)17，SmFe10(Mo,B)2等合金锭，通过球磨法制备了纳米粉体，并在高气压热处理系统中进行了氮化处理，随后利用脉冲激光沉积系统在单晶Si衬底上沉积了Sm2Fe17薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)分析样品组成及晶体结构；并采用扫描电子显微镜(SEM)对样品尺寸分布及形貌进行表征。采

6、用振动样品磁强计(Lakeshore7407型及VSM-220型)测量合金的磁性及居里温度。主要研究了不同程度的掺杂、球磨处理以及高压对合金的结构、居里温度及永磁性能的影响；并对不同时间沉积的薄膜晶体结构及表面形貌进行了分析。用电弧熔炼法制备Sm2(FexCo1-x)17(x=0,0.3,0.7)母合金锭，均匀化退火后采用球磨方法制备纳米晶合金粉末。研究了Fe掺杂及球磨处理对Sm2(FexCo1-x)17合金结构、居里温度及永磁性能的影响。实验结果表明，随着Fe含量增多，合金中1:5相逐渐减少，当x=0.7时，形成单相2:17型化合物，同时居里温

7、度从938˚C(x=0)下降到590˚C(x=0.7)。球磨处理过程有利于形成单相2:17纳米合金粉，饱和磁化强度随着球磨时间的增加逐渐增大，同时内禀矫顽力和磁能积与球磨时间的关系呈两头下降的趋势。球磨时间在0.5～1h时，纳米合金粉末的永磁2磁性能达到最佳，Sm2Co17的最佳磁性能为：Ms=81Am/kg，iHc=0.31T，(BH)max=3.2MGOe。用电弧熔炼法制备SmFe10Mo2及SmFe10Mo1.5B0.5母合金锭，并在均匀化退火后采用球磨法制备SmFe10Mo1.5B0.5纳米晶合金粉末。研究了B掺杂对SmFe10Mo2块体

8、合金及球磨对SmFe10Mo1.5B0.5纳米粉末的相结构与磁性的影响。结果表明，B掺杂前后合金的ThMn12相结构不变，居里温度由27