高阻单晶硅太阳电池关键工艺研究

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1、101672014130004论文题目：高阻单晶硅太阳电池关键工艺研究ResearchonKeyTechnologyofHighResistanceCrystallineSiliconSolarCell作者姓名：王泽来指导教师：陆晓东教授专业名称：凝聚态物理研究方向：晶硅太阳电池方向学院年级：新能源学院2014级完成日期：2017年6月渤海大学研究生学院原创性声明本人郑重承诺：所呈交的硕士学位论文是本人在导师指导下进行的研宄工作和取得，的研宄成果。尽我所知，除了文中己经注明引用的内容外本论文不包含其他个人

2、或集体已经发表或撰写过的研宄成果。对本文的研宄做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以。明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担论文作者签名：曰期：年６月４曰关于论文使用授权的说明学位论文作者完全了解渤海大学有关保留、使用学位论文的规定，即：研宂生在校攻读学位期间进行论文工作的知识产权单位属于渤海大学。渤海大学有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许学位论文被查阅和借阅。本文作者授权渤海大学可以公布学位论文的全部或部分内容，可以将学位论文的全部或部

3、分内容编入有关数据库并进行检索，可以采用影印、缩印、扫描或其它复制手段保存、汇编学位论文保密的学（位论文在解密后遵守此规定）。保密□，在年解密后适用本授权书。本论文属于７不保密适用本授权书。“”（请在□内打Ｖ）论文作者签名：指导教师签名：曰期：年月曰期：＞７６＞丨７年Ｚ月６曰高阻单晶硅太阳电池关键工艺研究[摘要]作为解决世界能源危机的一个可行的方法，太阳电池的开发成为世界各国广泛研究的前沿课题。近年来，光伏产业发展迅速，已出现多种形式的太阳电池，但实用化的太阳电池仍以

4、晶硅太阳电池为主。太阳电池的研究与开发始终围绕着提高光电转换效率和降低成本两个关键问题展开，而现在，这两个问题还是没有得到全面的解决。本文围绕这两个问题展开对单晶硅电池的研究。单晶硅在制备过程中产生大量的较高电阻率硅片，极少量低阻硅片和超高阻硅片，这无形中增加了制造成本，即这些高阻硅片并不适应现今太阳电池的制备工艺，无法做出理想电池，所以在生产中这些硅片需要回炉重新制备。本论文针对高阻硅片制备太阳电池极其性能展开课题研究，主要探究方块电阻的大小对太阳电池的影响，通过控制工艺条件影响方阻阻值，在高阻电池制备实验中摸

5、索条件，找到较好效率的高阻电池制备工艺条件，以期使高阻电池效率得到改善，并提高高阻硅片的利用率，从而降低单晶硅电池的生产成本。本文首先研究常规太阳电池的工艺条件，再探究不同电阻率硅片制备太阳电池的可行性，得出用电阻率为3-6Ω·cm这范围的硅片可以尝试不同工艺条件制备太阳电池，而其也是除常规硅片外占比最大的一部分；接着结合方阻与硅电阻率的关系，方阻与扩散参数及方阻与电性能参数的关系这几方面，来探究高电阻率太阳电池的工艺，主要研究工艺为制绒工艺，扩散工艺及烧结工艺。通过大量实验对比分析，得到扩散工艺参数主要降低通源

6、量及扩散温度，小氮流量1800sccm降至1350sccm，扩散温度由850℃降至818℃，烧结工艺参数主要控制温度，由780℃降至760℃，制备出高阻太阳电池，通过测试各项电性参数及分析对比，发现方块电阻在75Ω至80Ω这一范围时电池性能较好。研究基本解决高阻电池的制备问题，但由于条件有限，还有很多不足之处，需要继续改进，希望可以对单晶硅电池效率的提高及成本的降低提供参考。[关键词]：太阳电池；电阻率；方块电阻；扩散；效率IRESEARCHONKEYTECHNOLOGYOFHIGHRESISTANCECRYST

7、ALLINESILICONSOLARCELLABSTRACTThedevelopmentofsolarcellhasbecomeafrontierprojectbeenstudyingextensivelybynationsaroundtheworldasafeasiblemethodofcopingwiththeworldenergycrisis.Multiformsolarcellshavebeenputintousewiththerapiddevelopmentofthephotovoltaicindust

8、ryinrecentyearswhilethecrystallinesilicononesstillmajorsinpracticalfields.Theresearchanddevelopmentofsolarcellalwaysfocusonthekeyissuesofincreasingphotoelectricconversionefficiencyandredu