微推进器的制备及其性能研究

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1、分类号：Ｖ４３９学校代码：１０３６３密级：公开学号：２１２０１２０１０１戀杂歡又化未４ＡｎｈｕｉＰｏｌｔｅｃｈｎｉｃＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｙ硕±学位论文题目微推进器的制备及其性能研究论文作者李哈指导教师王海教授学科Ｃ专业）机械电子工程研究方向信息感知理论和方法论文提交日期：２０１５年６月８日分类号：Ｖ４３９单位代码：１０３６３密级：公开学号；２１２０口０１０１微推进器的制备及其性能研究ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎａｎｄＰｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ

2、ｆｏｒ－化ｒｕｓＭｉｃｒｏｔ：ｅｒ学生姓名：李隐指导教师：王海（教授）专业：化械电子工程研究方向：信息威知理论和方法论文答辩日期：安徽工程大学学位论文原创巧声明本人郑重声明：我恪守学术道德，崇尚严谨学风。所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研巧工作所取得的成果。除文中已明确注明和引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品及成果的内容，。论文为本人亲自撰写我对所写的内容负责，并完全意识到本声明的法律后果由本人承担。，学位论文作者签名；永／！曰親心年６

3、义月。《曰安徽工程大学学位论文版权使用授权书学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅或借阅。本人授权安徽工程大学可Ｗ将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可Ｗ采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。保密密，在年解密后适用本版权书。＿＿本学位论文属于不保密保。学位论文作者签名；指导教师签名：王海日期：如胸。《月論日舰年《月《日安徴工语大学硕±学位论文微推进器的制备及其性能研究摘要

4、伴随太空探索事业的发展卫星微小化的趋势越来越明显，微推进器作为微小卫星系统的重要动为系统，可实现微小卫星的变轨、姿态控制、空间制动等。传统的微推进器可Ｗ分为冷气推进、化学推进、电推进Ｈ大类，但是这些系统中大都存在着自重高、效率低、比冲小、。精度低、寿命短等缺陷，难Ｗ适应微小卫星长期在轨运行的要求微一小等离子体作为种高浓度等离子体，具有体积小、浓度低、结构简单等优点，本课题结合微小等离子体原理，提出基于微小等离子体的Ｓ工艺微推进系统，其结构简单，可采用基于ＭＥＭ实现批量加工，通过外部激励源，可将反应气体转化为微推力，

5、可满足微小卫星对推进系统的要求。主要研究内容如下：（０微推进器的结构设计：ＭＨＰＴ是Ｗ单晶珪为基底进行湿法刻蚀形成倒金字塔形的空也结构阵列、，在倒金字塔形空屯结构表面上分别沉积电极和绝缘层构成空也阴极微推进器；ＦＥＰＴ则是单晶ＬｉＮｂ〇３为基底材料，通过瓣射等方法沉积电极层，构成铁电阴极微放电器一，该放电器与微喷嘴键合起构成完整ＦＥＰＴ。２微推进器的加工工艺；本文中的微推进器都是基于ＭＥＭＳ（）工艺技术进行加工制作，针对在加工ＭＨＰＴ的制备过程中发现电极Ｉ安徽工程大学硕±学位论文碎裂，绝缘层出现裂纹

6、等不合理工艺参数提出化化方案，Ｗ制备质量优良的ＭＨＰＴ；ＦＥＰＴ的制作工艺还包括利用飞巧激光器对ＬｉＮｂ〇３的结构造型。口）微推进器的性能测试包括：电学性能测试方面：设计两种微推进器的电学性能测试系统，搭建ＭＨＰＴ的测试平台测得ＭＨＰＴ在直流激励下等离子体放电的电学参数，通过实验研究了ＭＨＰＴ点火肩辉特性，还分别研究不同阵列数、不同尺寸、不同压强条件下的放电特性。最后针对ＭＨＰＴ的击穿特性提出一种基于ＭＨＰＴ结构的介质阻挡ＤＢＤ型微推进的优化（）结构。一在推力测试方面，；提出种基于钟摆型的微推力测试装置对其

7、进行理论建模，得到在不同的阻屑条件下的响应状态曲线，针对该曲线，提出相应的动态补偿滤波器去改善系统的动态性能。关键词、：微推进器、微空也阴极、铁电、电学性能、钟摆ＩＩ安徽工程大学硕±学位论文ＲＥＳＥＡＲＣＨＯＮＦＡＢＲＩＡＣＡＲＩＯＮＡＮＤＰＥＲＦＯＲＭＡＮＣＥＦＯＲ－ＭＩＣＲＯＴＨＲＵＳＴＥＲＡＢＳＴＲＡＣＴＴｈｅｔｒｅｎｄｏｆｍｉｎｉａｔｕｒｉｚａｔｉｏ打ｏｆｓａｔｅｌｌｈｅｉｓｍｏｒｅａｎｄｍｏｒｅｏｂｖｉｏｕｓｗｉ也化ｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｓｐａｃｅｅｘｐ

8、ｌｏｒａｔｉｏｎ．Ａｓａｎｉｍｐｏｒｔａｎｔｄｒｉｖｉｎｇｓｓｔｅｍ－ｍ－ｏｆｍｉｃｒｏｓａ