洁净真空系统中污染物扩散沉降规律研究

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1、表兩扛參硕壬学位论文洁净真空系统中污染物扩散沉降规律硏究专业名務：光挙工程研究生姓名：周丽莎导师姓名：张晓兵ＴＨＥＲＥＳＥＡ民ＣＨＯＮＴＨＥｍＦＦＵＳＩＯＮＡＮＤＳＥＴＴＬＥＭＥＮＴＭＥＣＨＡＮＩＳＭＯＦＣＯＮＴＡＭＩＮＡＮＴＳＩＮＣＬＥＡＮＶＡＣＵＵＭＳＹＳＴＥＭＳＡＴｈｅｓｉｓＳｕｂｍｉｔｔｅｄｔｏＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＦｏｒｔｈｅＡｃａｄｅｍｉｃＤｅｇｒｅｅｏｆＭａｓｔｅｒｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＢＹＺＨＯＵ－ｓｈａＬｉＳｕｅｒｖｉｓｅｄｂｐｙ－

2、Ｐｒｏｆ．ＺＨＡＮＧＸｉａｏｂｉｎｇＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｔｒｉＳｉＥｉｉｃｏｎｃｃｅｎｃｅａｎｄｎｇｎｅｅｒｎｇＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＭａｙ２０１５东南大学学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研巧成果。尽我所知，除了文中特别加Ｗ标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果，一也不包含为获得东南大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我同工作的同志对本研冗所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。＇研究生签名Ｉ：东南大学学位

3、论文使用巧权声明东南大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆有权保留本人所送交学位论文的复印件和电。子文档，可Ｗ采用影印、缩巧或其他复制手段保存论文本人电子文档的内容和纸质论文的内容相－致。（除在保密期内的保密论文外，允许论文被查阅和借阅，可Ｗ公布包括Ｗ电子信息形式刊登）论文的全部内容或中、英文摘要等部分内容。论文的公布（包括Ｗ电子信息形式刊登）授权东南大学研究生院办理。’處：研巧生签名：导师签名：节ｌＵ＼］＾摘要一真空系统中的污染物质在定条件下会在真空中释放，经扩散，吸附、沉降到真一空室、光学元件等表面，导致系统巧染、元件性能下降和

4、其他些负面影响，并致使整个真空系统中不同位置的污染程度不同。为保护关键元件不受污染，需要研究真空系统运行註程中污染物在空间中的分布情况。本课题研究对需要洁净真空环境的研究和应用具有重要价值。论文首先进行模拟研究，建立静态真。根据真空中污染物扩散沉降运动的理论基础空和动态真空下的自由分子流的数学模型，分别进行模扮。对静态真空条件下不同污染源饱和蒸汽皮，污、污染源形状及污染源位置进行模拟。结果表明染源位置的影响最一染源饱大，越靠近污染源的污染物最多；污染源形状对污染物扩散分布有定影响：污和蒸汽压对空间相对分布没有太大影响；高真空下的分子态气体污染物重力引起

5、的沉降作用对污染物扩散分布的影响较小。对动态真空条件下不同真空累抽速、污染源位置及抽气口位置进行模拟。结果表明，污染源位置的影响很大Ｉ空间中越靠近污染源的位置污染物越多；真空累抽速对污染物分布有影响，抽速越大，抽气口附近的污染物分子减小越多；抽气口位置对污染物分布有影响，距离真空亲抽气口最近的位置受抽气影响最大。，，其分子数密度下降最多。实验研究在动态真空环境下进行结果表明污染源位置起主要作用，越靠近污染源的位置污染物越多；真空累抽速和抽气口位置也对污染物分一布有较大的影响致性。。实验研究结果与模拟研究结果有较好的一本论文建立了种对真空系统中污染物扩散

6、分布的有效分析方法，令真空舱中抽象的污染物分布情况可视化，更直观地体现空间不同位置的污染物浓度，对洁净真空下污染物分布研究具有指导意义，为污染物控制的实际应用提供了研巧方向。关结词：洁净真空，污染物，扩散，模拟ＩＡｂｓｔｒａｃｔＡｂｓｔｒａｃｔＴｈｅｍａｔｅｒｉａｌｓｕｓｅｄｉｎｖａｃｕｕｍｓｙｓｔｅｍｓａｒｅａｌｗａｙｓｃｏｎｔａｍｉｎａｔｅｄｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅ．Ｔｈｅｓｅｃｏｎｔａｍｉｎａｎｔｓｗｉｌｌｂｅｒｅｌｅａｓｅｄａｇａｉｎｕｎｄｅｒｃｅｒｔａｉｎｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓａｎｄ化ｅ打出ｆｉｉｓ

7、ｅｉｎａｖａｃｕｕｍｓｓｔｅｍ．Ｔｈｅｗｉｌｌｌｅａｄｍｎｅｎｄｅｒｔｉｉｆｌｆｅｒｅｎｄｒｅｅｏｆｃｔｉｎｉｏｆｔｈｅｙｙｔｏｃｏｐｏｔｇａｄａｏｎ，ｄｔｅｇｏｎａｍａｔｏｎｖａｃｕｕｍｓｙｓｔｅｍａｔｄｉｆｅｒｅｎｔｌｏｃａｔｉｏｎｓａｎｄｏｔｈｅｒ打ｅｇａｔｉｖｅｅｆｅｃｔｓ．Ｔｈｉｓｒｅｓｅａｒｃｈｈａｓｓｉｇｎｉ行ｃａｎｔｖａｌｕ货也ｓｅａｒｃｈｅｓａｎｄａｈｃｉｏｎ＾ｉｈ