基于微混合器的重金属离子微全分析系统芯片研究

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1、博士学位论文基于微混合器的重金属离子微全分析系统芯片研究HEAVYMETALIONSμTASCHIPBASEDONMICROMIXER张贺哈尔滨工业大学2015年9月国内图书分类号：学校代码：10213国际图书分类号：密级：公开工学博士学位论文基于微混合器的重金属离子微全分析系统芯片研究博士研究生：张贺导师：周治平教授刘晓为教授申请学位：工学博士学科：电子科学与技术所在单位：航天学院答辩日期：2015年9月授予学位单位：哈尔滨工业大学ClassifiedIndex:U.D.C:DissertationfortheDoctoralDegReeinEngineerin

2、gHEAVYMETALIONSμTASCHIPBASEDONMICROMIXERCandidate：HeZhangSupervisor：Prof.ZhipingZhouProf.XiaoweiLiuAcademicDegReeAppliedfor：DoctorofEngineeringSpeciality：MicroelectronicsandSolidStateElectronicsAffiliation：SchoolofAstronauticsDateofDefence：September,2015DegRee-Conferring-Institution：H

3、arbinInstituteofTechnology摘要摘要基于微电子机械系统（MicroElectroMechanicalSystem,MEMS）技术的微全分析系统（Micrototalanalysissystems,µTAS）是微电子、电化学、及分析化学等多学科交叉结合的产物，由于具有广阔的应用前景而成为研究的热点。然而目前用于水质重金属污染检测的µTAS芯片还存在预处理效率低、多层芯片键合难等问题，导致其集成程度并不高，无法满足便携化和实时化检测需求。本文提出了三维马蹄混沌混合器结构，以改善预处理效率；以微混合器为核心，结合固相萃取及安培检测技术，设计了集成

4、化的重金属µTAS芯片；提出了基于聚甲基丙烯酸甲酯（PolymethylMethacrylate,PMMA）材料的新颖键合方法，以实现带有功能模块的多层复杂µTAS芯片的组装；基于以上设计和装配工艺，制备了重金属µTAS芯片，并采用多种检测方法对芯片的性能进行了验证。提出了三维马蹄变换模型，通过“垂直折叠”使二维马蹄变换后“溢出”的流体再次回到系统内部，不仅减少了变换过程中的流体损失，而且流动方向的多次改变使得混合器内的流动情况更加复杂。以流体动力学方程和多组分物质扩散方程为基础，建立了微尺度下的流体混合模型，研究了混沌混合器的性能，结果表明变换后混沌流对混合的促

5、进作用更为显著。当Re=10时经优化设计后的三维马蹄微混合器在12mm的混合距离内即可接近均匀混合（σ<0.05），与“挤回式”马蹄混合器（Re=10，σ>0.2）相比混合效果得到了明显改善。以微混合器为核心，设计了新颖的重金属µTAS芯片集成结构。利用三维马蹄混合器对试样进行预处理，以满足固相萃取柱的选择性吸附条件；设计一体化的填充式柱床结构，结合改性吸附剂实现对重金属离子的分离富集；在流经式检测池结构的基础上设计了带有内充液池的Ag/AgCl参比电极，保证重金属安培检测的稳定性。芯片由4层基片组成，整体尺寸为70mm×40mm×14mm，除压力进样装置和电化学

6、工作站外，整个检测过程无需借助其他外部设备，使µTAS芯片的集成化程度得到了显著提高。为实现基于PMMA材料的多层复杂结构µTAS芯片的装配，提出了有机溶剂混溶浸泡键合法。把三氯甲烷与无水乙醇按照一定比例混合，通过调节溶液组成和浸泡时间等参数控制材料形变量，在保证微结构形貌的前提下实现了芯片的封合。当浸泡键合条件为：V三氯甲烷:V乙醇=1:10、t=10min、T=40°C时，键2合强度达到了267.5N/cm而形变量只有7.26%。为解决带有功能模块的µTAS芯片的装配，提出了有机溶剂熏蒸键合法。利用聚酰亚胺和硅胶作为掩膜，保护功能模块中易受有机蒸汽破坏的部分，

7、当使用三氯甲烷作为熏蒸溶剂、熏蒸-I-哈尔滨工业大学工学博士学位论文2温度为65°C、熏蒸时间为40s时，键合强度为61N/cm，形变量为9.5%。使用以上装配方法，分别制作了用于试样预处理的微混合器芯片、用于重金属离子分离的固相萃取芯片和用于重金属离子检测的安培传感器芯片，并采用多种测试方法对上述芯片的性能进行了评价。以此为依据确定了µTAS芯片2+2+3+的工作条件。最后以Hg溶液和Pb、Cr混合溶液作为模拟试样，对µTAS2+芯片进行了整体性能测试。芯片对Hg离子的检出限为20μg/L，（n=5，标准差3+-63%）；当有高浓度干扰离子时（Cr=1.0×10

8、mol/L