利用飞秒激光制备微光栅微透镜的研究

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3、书而使用过的材料。学位论文作者签名：签字日期；年／月胃Ｊ：日学位论文版权使用摆捉书本人完全了解黑龙江大挙有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子脱允许论文被查阅和借阅。本人授权塞基注么堂可Ｗ将学位论文的全部或部分內容编入有关数据库进行检索，可采用影印、缩印或其他复制手段保存、汇编本学位论文。学位论文作者签名：导师签名：签字日期：克月日签字日期：０月）度年／重三／王年／ｊｒ日学位论文作者毕业后去向；工作单位；电话：通讯

4、地址：邮编：中文摘要中文摘要纳米技术的发展使微光学器件在通信、存储、成像、传感中得到了广泛应用。其中，微光栅、微透镜阵列等微光学元件正在成为人们研究的热点。为此，如何制备性能更好的微透镜阵列及光栅成为目前人们的迫切需求。飞秒激光是一种超短脉冲激光，其峰值功率非常高，且作用区域小，是一种十分优良的微加工手段可以实现非热熔性加工，而且加工成形后的表面非常光滑，所以已成为加工微光栅和微透镜阵列的方法之一。本文利用飞秒激光器和微位移平台搭建的激光直写系统，在聚碳酸酯表面加工了微光栅。研究了聚碳酸酯表面加工线宽与

5、激光能量之间的关系。并且研究了不同显微物镜的数值孔径对加工线宽的影响。此外，搭建了双光束干涉加工系统。利用朗奇光栅对入射光分束，通过对曝光时间的控制，在聚碳酸酯材料表面加工了多组光栅结构。研究了激光脉冲对光栅形貌的影响。用上述直写系统在聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯表面烧蚀了微孔结构，对比了两种材料上的烧蚀效果。研究了激光参量对微孔直径的影响。最后，选取PC材料，制备了大量的微凹透镜阵列，并测试了微凹透镜阵列的成像性能。关键词：飞秒激光；微结构加工；微光栅；微透镜阵列-I-黑龙江大学硕士学位论文AbstractW

6、iththedevelopmentofnanotechnology,micro-opticsdevicesarewidelyappliedincommunication,datastorage,imagingandsensing.Micro-gratingandmicro-lenarrayarehotspotinmicro-opticsdeviceresearch.Therefore,howtomanufacturethemicro-lensarrayandmicro-gratingmoreefficient

7、lyisbecomingtheurgentrequirement.Thefemtosecondlaserisakindofultra-shortpulselaserwithhighpeakpowerandsmallscope.Ithasbecomeoneofthebestmicroprocesses.Itcanrealizenon-hotmeltprocessing.Afterprocessingprocedure,itssurfaceisverysmooth.Therefore,ithasbecomeone

8、ofmethodsofprocessingmicro-gratingandmicro-lens.Inthisthesis,thelaserdirectwritingsystemwhichisbuiltbyfemtosecondlaserandmicro-displacementplatformisusedtoprocessmicrogratingonpolycarbonatesurface.Ther