plzt基弛豫铁电陶瓷压电特性的研究

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1、请；ｆ＾乂葦Ｓｏｕ化ＣｈｉｎａＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇｙ硕±学位论文ＰＬＺＴ基弛豫铁电陶瓷压电特性的研究作者姓名郑秋洪学科专业微电子学与固体电子学指导教师凌志远教授所在学院材料科学与工程学院论文提交日期２０１５年４月ｏｎ－ｓｔｕｄｔｈｅｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｒｏｅｒｔｉｅｓｏｆＰＬＺＴｂａｓｅｄｙｐｐｐｒｅｌａｘｏｒｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃｃｅｒａｍｉｃｓＡＭａｓｔｅｒＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎＳｕｂｍｉｔｔｅｄｆｏｒｔｈｅＤｅｇ

2、ｒｅｅｏｆＣａｎｄｉｄａｔｅ：ＺｈｅｎｉｕｈｏｎｇＱｇＳｕｐｅｒｖｉｓｏｒ：Ｐｒｏｆ．ＬｉｎｇＺｈｉｕａｎｙＳｏｕｔｈＣｈｉｎａＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇｙＧｕａｎｚｈｏｕＣｈｉｎａｇ，分类号：学校代号：１０５６１学号：２０１２２０１１６７９７华南理工大学硕±学位论文ＰＬＺＴ基驰豫铁电陶瓷压电特性的研究作者姓名：郑秋洪指导教师姓名：、职称凌志远教授申请学位级别：工学硕±学科专业名称：微电子学与固体电子学研究方向：固体电介质及应用电子技术论文提交日期：２０１

3、５年４月２０日论文答辩日期；２０１５年６月５日学位授予单位：华南理工大学学位授予日期：年月日答辩委员会成员：主席：李国强教巧委员：凌志远教授、胡星副教授、季小红副教授华南理工大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加Ｗ标注引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中Ｗ明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名；遂寺於巧、

4、曰期；月多曰＾＾学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，艮Ｐ：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属华南理工大学。学校有权保存并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许学位论文被查阅（除在保密期内的保密论文外）；学校可Ｗ公布学位论文的全部或部分内容，可Ｗ允许采用影印、缩印或其它复制手段保存、汇编学位论文一。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相致。本学位论文属于：□保密，在年解密后适用本授权书。＾ｚ＾不保密，，同意在校园网上发布供校内师生和与学校有共

5、享协议的单位浏览；同意将本人学位论文提交中国学术期刊（光盘版）电子杂志社ＣＮＫＩ《全文出版和编入中国知识资源总库》，传播学位论文的全部或部分内容。＂＂（请在上相应方框内打Ｖ）作者盤名：為蛛來费、日期：年《月日指导教师签名：日期：＞，年《月方日ｒ作者联系电话：电子邮箱：联系地址（含邮编）摘要压电材料是能将机械能和电能相互转换的功能材料，在传感器、驱动器、超声换能器等电子元件和器件方面有着广泛的应用。随着科学的进步，人们生活水平的提髙，电子整机的不断小型化，对压电材料性能的要求越来越髙。＇

6、？本文对Ｉｂｉ＿ｘＬａｘ（Ｚｒｉ＿Ｔｉｉ＿ｘ／４〇３＋ｌｗｔ％ＳｂｓＯｓＣＰＬＳＺｌ）压电陶瓷材料进行了系统的研ｙｙ）一巧。测试了系列不同Ｚｒ／Ｔｉ比和Ｌａ取代量下配方的介电、铁电、压电特性。通过ＸＲＤ、ＳＥＭＷ及电性能参数温度特性测试，分析了铁电压电特性与微观结构的关系。研究发３＋现Ｌａ取代使得ＰＺＴ的准同型相界（ＭＰＢ）发生了偏移，随着Ｌａ取代量的増加，ＭＰＢ向高Ｚｒ／Ｔｉ比方向移动，极化也会使得Ｈ方相向四方相发生明显的转变。因此对Ｚｒ／Ｔｉ比的不同ａ＝５＝，相对应压电性最优所需的Ｌ取代量也不同。在ｘ０．０６，

7、ｙ０．４１时获得压Ｎ＝＝＝５〇８９＝电性最优的配方：成尸８４２ｐＣ／，Ａ０．７１，怎尸０．５４，０ｍ％，＆，皆５０．０２９。对介ｐ电常数（＆）温谱的测试拟合表明本实验中Ｌａ取代ＰＬＳＺＴ陶瓷材料均为弥散相变铁电体。２＋ＷＰｂ〇－ＬａＡＺｒ〇３＋ｌｗｔ％Ｓｂ〇为研究对象，其中Ａ分别为Ｓ产和Ｂａ，．９３５ｘ〇．〇６５ｘ（〇．５讯０．４０）２５＝研究表明两者对配方的影响规律较为相似。送两种离子的取代在ｘ０．００５时候都有利于成Ｊ的提髙，但其后随取代量增加成３下降。这两种离子的取代都有利于＆提髙和咨Ｓ降ｘ＝

8、低，都在０．００５的时压电性最优，性能如下＝＝＝＝＝＝Ｓｒ；成５８５７Ｃ／Ｎ，０．６７，侣０．５２，錫４５，＆５８６８，ｆ如０．０２１。ｐＢ＝