pcss性能模拟分析方法的研究论文

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1、中文摘要随着微电子技术、纳米技术和半导体材料的发展，电子器件和光电器件的运行速度搿到了前所未有的提高，然而，要评价这些器件的性能参数，就需要超高速的电信号和超高速的检测系统，在这样的背景下，本课题研制了超高速光电导开关，完善了基于电光采样技术的测试系统。通过对光电导开关基本结构和原理的分析，对光电导开关的输出进行了模拟，然后，设计和制备了超高速光电导开关器件，并对超高速光电导开关的基本特性进行了测试，同时搭建了超高速光电导开关输出电脉冲的测试系统，以期用超高速光电导开关的输出电脉冲作为输入信号，采用搭建的测试系统测量其他高速器件的性能参数。

2、本论文的主要内容和研究成果如下：(1)查阅了大量的文献资料，对光电导开关的发展和研究现状进行了分析总结。(2)it：展了超高速光电导开关芯片材料的选择工作，经分析，选择低温生长的GaAs作为芯片材料，利用AFM阳极氧化的方法加工超高速光电导开关的功能结构．同时选择微带电极型结构和共面微带型传输线，从而设计了新型的光电导开关的整体结构：通过理论分析，利用Matlab模拟了此光电导开关的输出特性，并采用PSPICE电路模拟软件模拟光电导开关的传输特性。(3)设计制作了新型光电导开关的光刻版图，采用传统的光刻工艺、直流磁控溅射』：艺和AFM氧化加

3、工方法制备了新型光电导开关。同时，对光电导开关的绝缘保护进行了研究。(4)测试了研制的光电导开关的基本特性，试制了隧道结，通过实验观察到了隧道结的遂穿现象，分析了遂穿结构与原理。(5)完善了前人设计的超高速光电导开关的电光采样测试系统，对其各个部分进行厂分析，使用LabVIEW编写基于GPIB接口的仪器控制与数据采集及显示系统。关键词：光电导开关PSPICE模拟基本特性电光采样测试系统ABSTRACTWiththedevelopmentofmicro—electronics，nano—technologyandsemiconductorma

4、terialstherunningspeedofelectronicdevicesandopto—electronicdevicesisbecomingfasterandfaster．Toevaluatetheperformanceandparametersofthosedevices。morefasterelectricalsignalsandtestingsystemsareneeded．Undersuchbackground，theultrafastphotoconductiVeswitchisstudiedandprepared，a

5、ndthetestingsystembasedonelectro—optosamplingtechnologyisimproved．Throughtheanalysisofthebasicstructureandprincipleofthephotoconductiveswish，ultrafastphotoconductiveswitchdeviceisdesignedandprepared．Itsbasiccharacteristicsalemeasured，andthetestingsystemoftheoutputofitiscon

6、structedSOthatotherultrafastdevicescanbetested．ThemaincontentsofthisPaperinclude：(1)Alargenumberoftechnicalreferenceswereanalyzed；thedevelopmentandcurrentresearchofphotoconductiveswitchwerereviewedandsummarized．(2)Thesubstratematerialsofphotoconductiveswitchwerecomparedand

7、selected．Fromanalyzing，lowtemperaturegrowthGaAswaschosenasthesubstrate，andthefunctionalpartfabricatedwithAFManodicoxidation，microstripelectrodestructureandthecoplanarstripgeometryasthetransmissionlineformanovelultrafastphotoconductiveswitch．ThesoftwareMatlabwasusedtosimula

8、tetheoutputofphotoconductiVeswitch．ThesimulationofphotoconductiveswitchwithPSPICEwasprove