转印法生产彩色滤光片出现缺陷分析的研究及改善

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1、ADissertationSubmittedtoShanghaiJiaoTongUniversityforMasterDegreeofEngineeringAnalysisandReductionoftheDefectsinColorFiltersProducedbytheTransferPrintingMethodAuthor：RENSHUMINGSpecialty:ElectronicsandCommunicationEngineeringAdvisorⅠ:Prof.GUOXIAOJUNAdvisorⅡ:S

2、eniorEngineer.FANGANGHONGSchoolofElectronicsandElectricEngineeringShanghaiJiaoTongUniversityShanghai,P.R.ChinaSeptember1,2011万方数据万方数据万方数据上海交通大学工程硕士学位论文摘要转印法生产彩色滤光片引起的缺陷的分析及改善摘要目前，平板显示已经成为显示产业主角。2011年平板显示产业规模较2010年增长10%。平板显示中最成功的为TFT-LCD显示技术，已占平板显示产品销量80%以上。而

3、TFT-LCD面板之所以能够产生色彩的变化主要是来自彩色滤光片,彩色滤光片是构成彩色图像的关键组件。高品质的彩色滤光片决定性地影响着TFT-LCD的色彩表现。因此，为了推动彩色滤光片的高品质化，就需要更高的精度同时具有低的工艺成本，转印法因运而生。转印法是一门相对较新的技术，主要通过将转印膜以卷筒膜的形态提供，然后使用转印机，通过热转印将光阻层形成在基板上，然后通过曝光、显影，形成彩膜。转印法生产的彩色滤光片由于转印膜的独特设计原因而具有较好的膜厚形状和均匀性，且其转印机本身贴附精度很高也使生产的彩膜具有高精确

4、度性。然而，转印法也会产生一些较独特的缺陷，诸如在转印膜剥离时产生的膜屑残渣导致的共缺、转印后基板长时间等待而造成的液晶间隔物柱高异常等。本文通过多种有效途径对缺陷进行了分析与改善，例如对共缺异物进行SEM与EDS解析确定异物成分，并在撕膜单元增加吹风装置，有效地解决了共缺产生；对PS残进行SEM解析确定为显影液残留，对显影机进行多个条件的试验，得出Flushing是控制显影液残留发生率的有效方法，降低了显影液残留的出现。通过采用本文的工艺方法，有效地提升了公司产品的合格率，创造了好的经济效益。关键字：转印法，

5、彩色滤光片，液晶间隔物第I页万方数据上海交通大学工程硕士学位论文ABSTRACTAnalysisandSuppressionoftheDefectsinColorFilters'sProducedbytheTransferPrintingMethodABSTRACTTheflatpaneldisplays(FPDs)aredominatingthecurrentdisplayindustry.ThemarketofFPDproductsin2011hasgrown10percentoverlastyear.Th

6、emostpopularFPDtechnologyisthethin-filmtransistor-liquidcrystaldisplay(TFT-LCD),whichtakesmorethanthe80percentshareoftheFPDmarket.ThemethodofrealizingthebrilliantcolorinTFT-LCDsisbasedonthecolorfilters.Thequalityofthecolorfilterscansignificantlyinfluencethep

7、erformanceofTFT-LCDs.Inordertoachievehighqualitycolorfilterswithhigherresolutionandlowcost,thetransferprintingprocesswasdeveloped.Thetransferprintingmethodisarelativelynewtechnologyinthemass-productionofTFT-LCDs.Thelaminatortransfersthephotoresistlayerinther

8、ollfilmformtotheglass,whichthengoesthroughtheUVexposureanddevelopingprocessesforformingthecolorfiltersfinally.Theformedcolorfiltersbythetransferprintingprocesshavebetterlayershapeanduniformityat