氧化铈抛光粉的化学法制备及其性能的研究

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1、分类号：TQl33密级：公开涛√匆Z驴单位代码：10427学号：2011010060硕士学位论文氧化铈抛光粉的化学法制备及其性能的研究研究生姓名导师姓名学科(领域)胡小迎刘福田材料学申请学位类别工学硕士答辩时间2014年5月27E1ChemicalPreparationandPolishingPropertyofCeriumOxidePowdersByHUXiaoyingUndertheSupervisionofLIUFutianAThesisSubmittedtotheUniversityofJinanI

2、nPartialFulfillmentoftheRequirementsFortheDegreeofMasterofEngineeringUniversityofJinanJinan，Shandong，P．R．ChinaMay，2014原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律责任由本人

3、承担。论文储龇铜心、迎日期：如件戽上目弓。曰关于学位论文使用授权的声明本人完全了解济南大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借鉴；本人授权济南大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。＼[么开口保密(年，解密后应遵守此规定)—)f千．歹’1。’j．期刁马7铄√签／≥稚／≥剥殳小au二却名套苦仁tJT丈阮济南大学硕士学位论文目录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

4、⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．11．1CMP技术简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．11．1．1CMP技术的提出与发展现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11．1．2CMP技术的组成要素⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯21．1．3CMP技术的抛光机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯41．2氧化铈抛光粉简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．61．2．1氧化铈抛光粉的性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．6I．2．2氧化铈抛光粉的制备方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯81．3论文研究的目的及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯121．4论文研

5、究的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．12第二章研究方案与研究方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．152．1研究方案的选择⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯152．1．1化学沉淀法制各氧化铈抛光粉⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．152．1．2水热法制备氧化铈抛光粉⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．152．2实验原料及仪器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯162．2．1实验原料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．162．2．2实验仪器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．172．3表征方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

6、⋯⋯⋯⋯⋯⋯172．3．1结构与形貌表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．182．3．2抛光性能测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯19第三章化学沉淀法制备氧化铈粉体及其抛光性能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．2l3．1实验步骤⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯213．2实验结果表征与分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．223．2．1沉淀反应条件对产物性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．223．2．2焙烧条件对产物性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯283．2．3抛光性能测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯303．3

7、本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯33第四章水热法制备氧化铈粉体及其抛光性能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯35氧化铈抛光粉的化学法制各及其性能的研究曼曼曼曼曼舅曼曼皇曼舅置■●■—量量曼曼曼曼曼曼曼曼曼量曼曼曼皇曼曼曼曼曼曼曼曼曼曼曼曼曼曼曼量曼曼曼昌暑■■■——

8、暑詈詈I皇4．1实验步骤⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯354．2实验结果表征与分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．364．2．1水热反应条件对产物性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．364．2．2焙烧条件对产物性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

9、⋯⋯⋯⋯⋯414．2．3抛光性能测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯434．3本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯47第五章抛光液的配制及化学机械抛光机理的探索⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．495．1抛光液的配制⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．495．1．1实验步骤⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．505．1．2实验结果表征与分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯505．2化学机械抛光机理的探索⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯