功率半导体失效分析改进研究.pdf

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1、论文题目功率半导体失效分析改进研究工程领域集成电路工程指导教师张波教授作者姓名包明学号201005301005万方数据分类号密级注1UDC学位论文功率半导体失效分析改进研究（题名和副题名）包明（作者姓名）指导教师姓名张波教授电子科技大学成都潘敏智高工乐山无线电股份有限公司乐山（职务、职称、学位、单位名称及地址）申请专业学位级别硕士专业学位类别工程硕士工程领域名称集成电路工程提交论文日期2012.04论文答辩日期2012.05学位授予单位和日期电子科技大学答辩委员会主席评阅人2012年月日注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号万方数据独创性声明本人

2、声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。签名：日期：年月日关于论文使用授权的说明本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进

3、行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）签名：导师签名：日期：年月日万方数据摘要摘要传统功率型半导体器件历经长期发展及大量生产，在民用电器市场广泛的应用，具有需求量大、品质风险高的突出特点。同时由于市场竞争，功率型半导体生产企业利润率偏低，原材料及人力等资源的投入受到制约。提高产品可靠性及市场生存能力，进一步扩大市场空间，成为各生产企业发展的首要目标。失效分析作为稳定提升产品可靠性的重要方法，受到各类生产企业的广泛关注。本论文通过调研国内外半导体生产企业先进的失效分析技术，总结主流失效分析

4、流程及操作手法，将本公司现有流程与其进行比对。从人员、设备、流程、手法及环境影响分析五个方面充分进行展开进一步研究改进可能性并设立改进达成目标。为保证研究方向准确、高效，在研究过程中将历史失效分析统计数据进行汇总，使用统计学方法将研究方向最优化。整个研究历程可归纳为现状分析，研究方向选择，理论设计，实践验证及成果提炼五个主要阶段，取得的主要成果如下。(1)提升失效分析软、硬件能力：在公司质量部试验室现有设备能力的基础上，通过自行设计、制作测试电路及模块并纳入量测系统管理，达到电参数步骤高效、高精度的目的。基于ISO9001：2008及TS16949

5、：2009质量体系标准，在企业内部建立失效分析岗位从业人员的岗前培训、岗内识别及周期复核规范程序。(2)建立高效失效分析流程：经过理论分析及经验累积，对原分析流程中的“瓶颈”步骤进行改良。结合理论与实践，达到提升操作安全性、规范性、准确性及操作效率的目的。(3)开发失效分析数据库：利用Excel软件开发失效分析数据库，将历史分析报告摘要信息录入数据库中，便于失效分析过程中数据及信息的检索、查找和比对，提高失效分析结论准确性。本研究课题已达到预期成果。不仅推动企业通过TS16949：2009质量体系认证，获得更广阔市场空间，同时为提升产品可靠性做出重

6、要贡献，更促进企业内部运作效率的持续进步。关键词：失效分析，管理规范，技术改进，数据库，功率半导体器件I万方数据ABSTRACTABSTRACTAfterlong-termofdevelopmentandmass-production,powersemiconductordevicemanufacturesaredealingwithlargequantityordersandsufferingfromhighdefectrisks.Manufacturesarealsorestrictedbylimitedrawmaterialandhumanr

7、esourcesinputduetolowprofitabilityofpowersemiconductorproductsbecauseoftheintensemarketcompetition.Itisoneoftheprimaryaimsformanufacturestoseekwaysofimproveproducts’reliabilityandmarketsurvivalabilitytoexpandmarketspace.Thefailureanalysisiswideconcernedbyvariousmanufacturesasa

8、steadywayofimprovingproducts’reliability.Thispaperstartsfromf