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《锆酸铅薄膜的生长特性与表面化学态》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、第"0卷第"期压电与声光/fgx"0Afx""##%年(月2z3:83-3@5=z@74B@8r758825z@7By;x"##%5555555555555555555555555555555555555555555555555555555555555555555文章编号!)##($"(.(’"##%*#"$#)("$#(锆酸铅薄膜的生长特性与表面化学态唐振方),蒋力立",刘彭义),孙汪典),唐新桂%’)/暨南大学理工学院,广州0)#&%"1"/广东工业大学应用物理系,广州0)##+#1%/中国科学院上海硅酸盐
2、研究所,上海"###0#*摘要!以醋酸铅和异丙醇锆为原料,乙二醇甲醚为溶剂-通过溶胶$凝胶法和快速退火工艺在23’)))*4564768"476’)##*基片成功地制备出不开裂的钙钛矿29:;8%薄膜-用<=>和原子力显微镜测量了薄膜随退火温度变化的结构和表面形貌特征,用<27测试了&0#?@退火29:;8薄膜的表面化学态-%关键词!29:;8薄膜1溶胶$凝胶1表面形貌1化学态%中图分类号!5A%#(文献标识码!BCDEFGHIHJDJKGLDMNJGMEOJOPIHLQMKJRSGJGLTEUVLJPWMDK
3、EOJGLXHMOYMRQT)"))%XZ[CWHLOUJO],^_Z[CVMRM,V_‘aLObM,S‘[cJO]PMJO,XZ[CdMO]eM’)/@fgghihfj7k6hlkhmln5hkolfgfip,q6lmlrl6sh;t63p,uvmliwofv0)#&%",@o6lm1"x>hy3xfjByyg6hn2opt6kt,uvmlinflirl6sh;t63pfj5hkox,uvmliwofv0)##+#,@o6lm1%x7omliom6zlt363v3hfj@h;m{6kt,@o6lht
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6、;36li{m3h;6mgt1"${h3of#ph3omlfg@%~$8"mtmtfgshl3x29:;8%j6g{ti;f}lfl234564768"476tv9t3;m3htmllhmghnm3sm;6fvt3h{yh;m3v;htj;f{(0#?@3f&0#?@jf;)#{6l,3oht3;vk3v;h,tv;$jmkh{f;yofgfipmlnkoh{6kmgt3m3htomsh9hhl{hmtv;hn9p<=>,B%&mln<27x’LbFEDPT!29:;8%3o6lj6g{t17fg$uhg1tv
7、;jmkh{f;yofgfip1koh{6kmgt3m3ht在室温可观察到电场诱导的反铁电$铁电相变+%,1)引言)m6等人+(,用&8@/>在7;568基片上制备了外%基于29:;8的钙钛矿反铁电材料,在电场诱延生长29:;8薄膜1@om33fymnopmp等+0,用2->%%导下,可以反铁电到铁电相变-利用其产生的不连续法在76基片上制备了0轴取向生长的29:;8%15ml6的应变,制备的器件可应用于医疗检测设备(汽车自等人+&,测量了7fg$uhg法制备29:;8薄膜的压电%动推进装备和空间系统-29:;
8、8基材料,如);ff*t结果1qmli等人+.,报告了用7fg$uhg法制备29:;8%%等人+),报道的镧掺杂锆酸铅溶胶$凝胶薄膜材料,在薄膜的疲劳特性11m{m*m}m等人+$,用磁控溅射制电场作用下由反铁电到铁电相变,相变过程中产生备了29:;8薄膜15mli报道了29:;8薄膜在76%%的不连续应变水准,可以在驱动器领域得到应用和’)##*基片上生长的非晶和晶化薄膜的光学特性,首制备存储器器件+",先发现在(0#?@退火的非晶薄膜样品中,有)2-此外反铁电材料可应用于相开关(电荷存储(电流源和线性电容及
9、微电子或微型机"l{的晶核’微晶*存在,导致薄膜的吸收边蓝移,电设备-即光学量子尺寸效应++,-在过去)#年,报道29:;8反铁电薄膜材料的本文介绍以23’)))*4564768基片生%"476’)##*文章比较少,)vnn第一个报道了制备锆酸铅长的29:;8薄膜随温度变化的表面形貌和表面化%’29:;8%*薄膜,他们观察到用溶胶$凝胶’7fg$uhg*学态-法制备的29:;8薄膜易开
