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时间:2019-03-06
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1、第二章半导体中的杂质和缺陷能级⎧原子并非固定不动,格点原子在平衡位置附近振动;实际半导⎪半导体并非纯净,含有若干杂质(基质以外的任何元素);⎨体材料:要求:⎪点缺陷⎩⎧半导体晶格并非完美(完整),存在各种缺陷:⎨线缺陷●掌握半导体中杂质的作用与杂质能级;⎩面缺陷§2.1Si、Ge晶体中的杂质能级●掌握半导体中的缺陷及其影响1、替(代)位式杂质间隙式杂质⎧①原材料纯度不够;⎪重点:浅能级和深能级杂质及其作用,杂质的杂质来源:⎨②工艺过程中引入玷污;⎪补偿作用⎩③人为掺入杂质—为改善半导体材料性能;(1)Si、Ge都具有金刚石结构,一个晶胞内含有8个原子。12则66%是空的(2)若视晶体中
2、的原子为球体,(3)杂质原子进入半导体中的存在方式:且最近原子相切:1①位于格点原子间的间隙位置——间隙式杂质(一般杂质原子较小)2⋅r=3⋅a{4②取代格点原子而位于格点上——替代式杂质(一般杂质原子大小与被取代的晶格原子大小近似,且价电子壳层结构也较相似)相邻两球的半径之和(直径)为立方体体对角线的Si、Ge是Ⅳ族元素,Ⅲ、Ⅴ族元素在Si、Ge中是替位式杂质。1/4。杂质浓度:单位体积中的杂43413质原子数,表示半导体晶体中8×πr8×π(3a)8个原子体积338杂质含量的多少,杂质浓度的===34%-3333单位为cm或/cm。晶胞体积aa替位式杂质和间隙式杂质34Ⅴ族元素施放
3、电子的过程——施主电离;2、施主杂质施主能级⎧施主杂质或N型杂质:⎨Ⅴ族元素未电离时呈中性——束缚态或中性态;以Si中掺入Ⅴ族替位式杂质P为例⎩Ⅴ族元素电离后形成正电中心——施主离化态;效果上形成Si中掺P正电中心P++一个价电子△E△ED=Ec—EDDEc被正电中心P+束缚,位于P+周围,此ESi、Ge中Ⅴ族杂质的电离能△ED(eV)+++D束缚远小于共价键束缚,很小的能量晶体杂质Eg△E就可以使其挣脱束缚,形成“自PAsSb由”电子,在晶格中运动(在导带)。Si0.0440.0490.039EvGe0.01260.01270.0096杂质电离:电子脱离杂质原子的束缚成为导电电子的过
4、程。ED:施主杂质束缚电子的能量状态,称为施主能级。杂质电离能:电子脱离杂质原子的束缚,成为导电电子所需的能量。一般情况下,杂质浓度较低杂质原子间的相互作用可以忽略记作△E。D所以施主能级是一些相同能量的孤立能级,即不形成能带。Si中约0.04~0.05eV掺入施主杂质后,杂质电离导致电子增多,增强半导体的导电能△ED的值{}<5、中心B-+一个空穴△EAESi0.0450.0570.0650.16vGe0.010.010.0110.011被负电中心B-束缚,位于B-周围,EA:被受主杂质束缚的空穴的能量状态,称为受主能级。此束缚远小于共价键束缚,很小的能量△E就可以使其挣脱束缚,形掺入受主杂质后,价带导电空穴增多,增强了半导体的导电能力,将成价带导电空穴。主要依靠空穴导电的半导体称为P型半导体动画:受主掺杂空穴挣脱受主杂质束缚的过程——受主电离;⎧总结:受主杂质未电离时呈中性——束缚态或中性态;①Ⅲ族元素(受主杂质):在禁带中引入比E高△E的受主能级E⎪vAA受主杂质或P型杂质:⎨Ⅲ族元素电离后形成负电中心——6、受主离化态;{束缚态(中性态)⎪离化态(向价带提供导电空穴,成为负电中心)使空穴挣脱受主杂质束缚成为导电空穴所需的能⎩量△EA——受主杂质电离能;Ⅴ族元素(施主杂质):在禁带中引入比EC低△ED的施主能级ED束缚态(中性态)7{8离化态(向导带提供导电电子,成为正电中心)5、杂质的补偿作用②Ⅲ、Ⅴ族元素的杂质电离能(△E、△E)很小,即:受主能级E距EADAV很近、施主能级ED距EC很近,故杂质能级称为浅能级,相应的杂质称为浅如果在半导体中既掺入施主杂质,又掺入受主杂质,施主能级杂质。杂质和受主杂质具有相互抵消的作用,称为杂质的补偿作用。③室温下(T=300k),Si、Ge中的Ⅲ、Ⅴ族7、杂质几乎全部离化。设:N:施主杂质浓度N:受主杂质浓度DA(浓度不高,一般全部离化)n0:导带中的电子浓度p0:价带中的空穴浓度4、浅能级杂质电离能的简单计算(氢原子模型估算)1)对于杂质补偿的半导体,若ND>NA:¾在T=0K时,电子按顺序填充能量由低到高的各个能级,由于受主能级EA比施主能级ED低,电子将先填满受主能级EA,然后再填充施主能级ED,因此施主能级上的电子浓度为n0=ND-NA。杂质补偿氢原子基态电子电离能E0=13.6ev;T
5、中心B-+一个空穴△EAESi0.0450.0570.0650.16vGe0.010.010.0110.011被负电中心B-束缚,位于B-周围,EA:被受主杂质束缚的空穴的能量状态,称为受主能级。此束缚远小于共价键束缚,很小的能量△E就可以使其挣脱束缚,形掺入受主杂质后,价带导电空穴增多,增强了半导体的导电能力,将成价带导电空穴。主要依靠空穴导电的半导体称为P型半导体动画:受主掺杂空穴挣脱受主杂质束缚的过程——受主电离;⎧总结:受主杂质未电离时呈中性——束缚态或中性态;①Ⅲ族元素(受主杂质):在禁带中引入比E高△E的受主能级E⎪vAA受主杂质或P型杂质:⎨Ⅲ族元素电离后形成负电中心——
6、受主离化态;{束缚态(中性态)⎪离化态(向价带提供导电空穴,成为负电中心)使空穴挣脱受主杂质束缚成为导电空穴所需的能⎩量△EA——受主杂质电离能;Ⅴ族元素(施主杂质):在禁带中引入比EC低△ED的施主能级ED束缚态(中性态)7{8离化态(向导带提供导电电子,成为正电中心)5、杂质的补偿作用②Ⅲ、Ⅴ族元素的杂质电离能(△E、△E)很小,即:受主能级E距EADAV很近、施主能级ED距EC很近,故杂质能级称为浅能级,相应的杂质称为浅如果在半导体中既掺入施主杂质,又掺入受主杂质,施主能级杂质。杂质和受主杂质具有相互抵消的作用,称为杂质的补偿作用。③室温下(T=300k),Si、Ge中的Ⅲ、Ⅴ族
7、杂质几乎全部离化。设:N:施主杂质浓度N:受主杂质浓度DA(浓度不高,一般全部离化)n0:导带中的电子浓度p0:价带中的空穴浓度4、浅能级杂质电离能的简单计算(氢原子模型估算)1)对于杂质补偿的半导体,若ND>NA:¾在T=0K时,电子按顺序填充能量由低到高的各个能级,由于受主能级EA比施主能级ED低,电子将先填满受主能级EA,然后再填充施主能级ED,因此施主能级上的电子浓度为n0=ND-NA。杂质补偿氢原子基态电子电离能E0=13.6ev;T
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