技术管理(基础知识)-1-ok

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1、1ESD项目组静电放电知识讲座--基础知识培训篇编辑：古旭荣2009年2月平南信华静电防护组目录第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性第二章：电子行业ESD/EOS损坏机理、原因、途径等第三章：ESD控制国际标准第四章：ESD标识第五章：工厂防静电水平控制分类第六章：静电实验室实施第七章：平南近两年重大ESD案例分析平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性1.术语定义：ElectroStatic―静电，是由于物质表面的正、负电荷分离，并处于相对静止的电荷。--+++---++ElectroStaticDischarge――简写成ESD

2、，因电势差造成电荷之间的流动。-----平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性2.ESD自然现象。雷电静电现象云内部的流动造强大的电场使附近离子流动组成导成电子的脱离的空气离子化，异电通道，快速放性相吸电形成平南信华静电防护组5第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性人在生活中活动的静电现象产生源湿度10－20％湿度65－90％在地毯上行走35,000V1,500V在帆布上行走12,000V250V在工作台上工作6,000V100V从塑料管中取DIP2,000V200V拿起一只塑料袋20,000V1,200V在布套椅上工作18,000

3、V1,500V平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性以冬天脱毛线衣为例,人体感知1：¢听到:2000-3000V（局部放电时现象）¢感到:3000-4000V（局部放电时现象）¢看到:>5000V（局部放电时现象）平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性静电人体感知2电荷量与人体感觉人体可以感觉300nC的放电很敏感的器件的危险水平0.1nC的放电多数敏感器件的危险水平几十nC的放电平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性人体静电电位现象平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性3.

4、人类对静电的认识、利用、防护过程●1400’s,欧美的火药制造就利用静电控制技术。主要方式是湿度控制。●1860,造纸厂的生产就开始利用较全面的静电控制技术。人员、设备接地；离子放电针技术；水汽控制静电。●现代纺织业大多使用静电控制技术，如湿度控制等。●在微电子行业，ESD是产品的最大杀手。平南信华静电防护组10第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性4.静电产生的方式：●摩擦起电●传导起电例子：CPM对金属尺子传导静电●感应带电例子：CPM给金属尺子充放电平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性摩擦起电平南信华静电防护组第一章：静电的

5、自然现象、产生原理及危害性摩擦起电(实验1：摩擦起电）绝缘体1绝缘体2绝缘体1绝缘体2++++————未摩擦前带电绝缘体1带电绝缘体2摩擦生电+—+—+—+—分离平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性感应带电过程（实验2：感应起电）--+++++++--+++++++---+++++++++++-++不带电金属体带电体--+++-----+++---+++--+++-++++++----++++---+-++金属导体电感效应平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性探讨问题1：（车间门口）金属链条/金属球棒作用探讨平南

6、信华静电防护组15第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性5.电子行业的损失电子行业业界内统计，电子元器件的损坏当中，45－70%左右是因为EOS/ESD损坏平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性6.近两年平南ESD损失案例●2006年12月29日起两天内，DL-28光头损失达到60pcs之多●2007年3月22起一周内，××手机CPU损坏了684PCS,经济损失达3万多元●2009年5月份，上海通用公司CDC机芯烧光头事件。通用公司和VDO公司各1pcs。平南信华静电防护组第一章：静电的自然现象、产生原理及危害性7.其它行业ESD危

7、害性。●矿业●原油海运业。●无尘室业。平南信华静电防护组第二章.电子行业ESD/EOS损坏机理、原因、途径等1.电子行业中的ESD失效情况分析损坏状况：●严重损害●潜在损坏/暂时失效(光头IOP值劣化）MicrosoftExcel失效模式：工作表●HBM模式●MM模式●CDM模式平南信华静电防护组第二章.电子行业ESD/EOS损坏机理、原因、途径等电子元器件ESD失效机理●能量型失效静电放电性损害●电压型失效PN结/绝缘层击穿、极化现象平南信华静电防护组20第二章.电子行业ESD/EOS损坏机理、原因、途径等2.电子元器件ESD损坏的图片（过流/过压）：

8、●过流的静电电流导致元器件内部线路熔化。损坏图片1（芯片内部图片）：静电破坏前静