MEMS磁场传感器的设计与分析

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1、１０３５９公开单位代码：密级：２０１５１１０８８０ＴＰ２１２：学号分类号：级：公开１２ＴＰ２／ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏＫｙｙｇｙ硕士学位论文ＭＡＳＴＥＲ’ＳＤＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ（学术硕士）论文题目：ＭＥＭＳ磁场传感器的设计与分析专业名称：电磁场与微波技术专业王月媖作者姓名：导师姓名：许高斌教授２０１８年３月完成时间：…－丨彳誦ｍｍ单位代码：10359密级：公开学号：2015110880分类号：TP212HefeiUniversityofTechnology硕士学位论文MASTER’SDISSE

2、RTATION论文题目：MEMS磁场传感器的设计与分析学位类别：学术硕士专业名称：电磁场与微波技术专业作者姓名：王月媖导师姓名：许高斌教授完成时间：2018年3月合肥工业大学学术硕士学位论文MEMS磁场传感器的设计与分析作者姓名：王月媖指导教师：许高斌教授学科专业：电磁场与微波技术专业研究方向：微电子机械系统设计与应用2018年3月ADissertationSubmittedfortheDegreeofMasterDesignandSimulationofMEMSMMoneticFieldSensorByWangYueyingHefeiUniversityofTechnologyHefe

3、i,Anhui,P.R.ChinaMarch,2018致谢时间过的真快，转眼我们都经过了三年的洗礼，成为比之前更具备学识素养的少年，研究生涯也即将面临告一段落的时候了。时间虽然不曾区别地对待每一个人，但是这几年的经历却还历历在目。这段时间的学习让我褪去了本科毕业时的懵懂无知，积攒了大量的专业知识，而且在为人处世方面也愈加成熟，收货良多。许高斌教授，一直以来是我攻读硕士研究生的三年期间最最要感谢的人。第一次跟许老师电话交流时让我觉得这是一位非常认真严谨、为人谦逊、严以律己、德才兼备的资深教授，应该很好相处，研究生期间肯定能学到很多，事实证明，确实如此。之后第一次参加许老师在场的组会时，听许

4、老师与两位博士老师、往届师兄讨论科研问题，我被许老师的专业技能折服，心想着就安心的在这实验室待下去，跟许老师学MEMS相关知识技能吧，就算不能学到老师全部，但是能学到他科研路上那种执着的精神、科学严谨的态度、掌握前沿性专业技能的方式，对我以后踏入社会或是深造都是有极大用处的。在我实际进入硕士研究生学位攻读期间，许高斌教授也经常能及时指导我处理遇到的困难，因此我才能在研究生期间完成指定课题。在日常生活中，许高斌教授更是对我们关怀备至，他永远是面带微笑、和蔼可亲，从不会把科研上遇到难题而导致的不愉快的心情传染给实验室的每一个人，更教会了我很多涉世工作后要掌握的处世之道。在许高斌教授的感染和培

5、养下，我自认，成为了一个相对比较合格的硕士研究生，千言万语，再次感谢我们的许高斌教授。其次，我还要诚挚的在这里感谢我们实验室的博士老师——马渊明老师和陈兴老师。他们竭尽全力的在帮助许老师管理实验室，在许老师由于科研任务繁重无法亲自对我们进行指导时，我们学术上和生活上的小困扰都是马老师和陈老师帮忙解决的，而且在这两位博士小老师的辅助管理之下，实验室运行的有条不紊，井然有序。另外，在帮助我们解决琐碎的小问题的同时，还不落下科学研究进度的推进，这两位都很平易近人，有超强的专业水准，经常和我探讨科研问题，使我茅塞顿开，生活中和我们打成一片，没有架子，俨然是年长的大哥哥，正因为如此，许高斌教授给我

6、布置的科研任务才能这般顺利的完成。祝愿所有老师，身体健康，家庭幸福，科研路上一帆风顺。感谢汪群师姐在我刚进入实验室时，跟我讲解实验室的基本情况和组成，带我逐渐了解了接下来要进入的研究领域以及未来3年需要做的事，让我心里有了大致的规划。感谢奚野、闵锐、李勇、余成晟、陈竟成、李建军等师兄，胡芳菲、汪群等师姐对我的关心和帮助。II感谢和我同级的余福源、李坤，我们互帮互助，共同探讨问题，一起进步。感谢师弟王超超、胡海霖、徐芝蕃、杨海洋、余智、徐礼建、陈诚、张倩协助我一起完成课题，给与我帮助。还要感谢我的家人，远在外省的他们，甘愿把我送到这么远的地方，饱受思念之苦，只为了我将来能在事业上有所成，非

7、常支持我读研的选择，无论是精神还是物质上的帮助和支持都是我目前无法偿还的，唯一能做的只是更努力的学习和工作，让他们不大的殷切期许能得以实现。感谢男朋友王友义对我的关心，在我心情低落、无力奋斗的时候给予我无私的关爱，让我重新燃起斗志，在我科研思路一筹莫展时能积极尝试用他自己的方式给予我灵感。最后感谢母校的培养以及教育部基金的支持。衷心感谢所有指导教育、关心帮助我的你们，希望你们阖家幸福，万福安康，一帆风顺！作者：王月媖2018年2月2