MEMS传感器行业分析课件.ppt

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1、MEMS传感器行业分析报告孔方正股权投资部目录MEMS的定义和工作原理12MEMS市场及竞争趋势分析3MEMS传感器主要应用领域4MEMS传感器产业和行业分析5无锡元芯及传感示范园介绍目录MEMS的定义和工作原理12MEMS市场及竞争趋势分析3MEMS传感器主要应用领域4MEMS传感器产业和行业分析5无锡元芯及传感示范园介绍MEMS的定义MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems），也称为微机电系统/微机械/微系统。它可分成几个独立的功能单元，包括微结构元器件、微传感器、微执行器

2、和微系统等。简单来说，其工作原理是外部环境物理、化学和生物等信号输入，通过微传感器转换成电信号，经过信号处理（模拟信号或数字信号）后，由微执行器执行动作，达到与外部环境“互动”的功能。MEMS微加速度传感器的工作原理MEMS微加速度传感器的工作原理:外界加速度变化时，质量块的位移也发生相应变化，这时可动臂和固定臂(即感应器)之间的电容就会发生对应的变化。通过测量得到感应器输出电压变化，就等同于测得了执行器的位移。一旦执行器位移与待测加速度具有对应关系确定，那么输出电压与外界加速度也就有了确定的关系，也就是说通

3、过输出电压就能测得外界加速度。F=M*AMEMS硅压阻式压力传感器的工作原理MEMS硅压阻式压力传感器工作原理：采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁，用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中，四个电阻应变片因变形而发生电阻变化，破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡，电桥输出与压力成正比的电压信号。目录MEMS的定义和工作原理12MEMS市场及竞争趋势分析3MEMS传感器主要应用领域

4、4MEMS传感器产业和行业分析5无锡元芯及传感示范园介绍MEMS不同领域应用技术要求领域微系统微器件汽车安全系统微加速度计、微惯性传感器、位移和压力传感器、微陀螺仪发动机和动力系统歧管绝对压力传感器、硅电容绝对压力传感器、制动致力器诊断和健康检测系统压阻式压力传感器、微继电器生物医学临床化验系统生化分析仪、生物传感器基因、遗传诊断系统微镜阵列、电泳微器件颅内压力检测系统硅电容式压力传感器超声成像系统微型成像探测仪（探头）微型手术微驱动器MEMS不同领域应用技术要求航空航天微型惯性导航系统微陀螺仪、微加速度计、

5、压力微传感器空间姿态测定系统微型太阳和地球传感器、磁强计、推进器动力和推进系统微喷嘴、微喷气发动机、微压力传感器、化学传感器通信和雷达系统微镜、微可变电容器、微光机电系统控制和监视系统微热管、微散热器、微热控开关、微磁强计微型卫星微马达、微传感器、微处理器、微控制器信息系统光纤通信系统光检测器、光纤耦合器、光调制器、光图像显示器无线通信系统微电感器、微电容器、微开头、微谐振器MEMS传感器在汽车工业的应用压力传感器用于测量进气歧管压、大气压、油压、轮胎气压等微加速度计被用于汽车的安全系统，如充气气囊的控制微机

6、械陀螺是一种振动式角速率传感器，主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统MEMS传感器在生物医学的应用灵巧药丸或靶药物输送，实际上是包含传感器，储药囊和微压力泵的微型仪器，可注入人体，并在人体内部的精确部位施放精确剂量的药物监测皮肤或体内温度的集成无线微型食品，可用来监测皮肤或相关器官温度等参数MEMS传感器在军事和航空的应用可作为侦察敌情用的微型航空器，可称为芯片级的微型航天器和纳卫星，以及能跟踪，监测的分布式无人值守传感器群MEMS加速计、陀螺仪和其它专用惯性器件在保证宇航员安全和太空船导航系统

7、在轨运行方面发挥作用已经有十多年时间了MEMS传感器在消费类电子的应用MEMS产品将广泛地应用于喷墨打印头、投影仪、笔记本等计算机类产品，手机等通讯产品以及MP3、MP4、游戏机、麦克风等消费电子产品中I-phone手机采用了重力加速度传感器、GPS传感器等目录MEMS的定义和工作原理12MEMS市场及竞争趋势分析3MEMS传感器主要应用领域4MEMS传感器产业和行业分析5无锡元芯及传感示范园介绍全球MEMS产值规模不断扩大2008年全球微机电产业预计接近73亿美元产值，年增长率11%，未来三年将持续保持正向

8、增长，2011年产值更将突破百亿美元大关，应用范围也将由光学产品、传感器、喷墨头，扩展至RF开关、汽车电子、麦克风、投影机、人机接口装置、网络通讯、电信设备，甚至生物科技、医疗技术等不同领域汽车MEMS传感器市场发展的对比情况来源：NEXUS2006-2011年全球MEMS市场规模来源：NEXUS中国MEMS传感器市场前景乐观预计从2010年开始，在中国MEMS市场将开始强势回暖，市场增速亦将快