微坑阵列模具掩膜电化学刻蚀研究

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1、万方数据大连理工大学硕士学位论文KeyWords：microfluidicchip；maskelectrochemicaletchingtechnology；micropitmold；groovemold；unifomityity万方数据微坑阵列模具掩膜电化学刻蚀研究目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯IAbstract．．．．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．⋯．．⋯⋯．．．⋯⋯⋯⋯．．．⋯⋯．．．．．．．．⋯．．．．．．．．．⋯．．⋯．．．．．．⋯⋯⋯⋯⋯⋯II1绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯l1．1选题背景及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

2、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯l1．2微坑阵列加工技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯l1．2．1微细切削加工技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯I1．2．2微细电火花加工技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯31．2．3微细激光加工技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯41．2．4微细超声加工技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯51．2．5微电铸加工技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯61．2．6掩膜微细电解加工技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯71．2．7掩膜电化学刻蚀技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯81．3本文的研究思路及主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．102微坑阵列

3、模具掩膜电化学刻蚀技术的仿真研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯112．1微坑成形过程的电场分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．1l2．1．1单个微坑成形过程电场分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．1l2．1．2微坑阵列成形过程电场分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．132．2本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．183掩膜电化学刻蚀模具钢微坑阵列模具的实验研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯193．1实验材料与实验装置⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．193．1．1实验材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一193．1．2实验设备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．193．2微坑

4、阵列模具掩膜电化学刻蚀实验研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯213．2．1掩膜版图形设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．2l3．2．2实验过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．213．3酸洗液与酸洗标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．243．3．1酸洗液⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．243．3．2酸洗标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．253．4分析与讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．263．4．1基板抛光工艺对刻蚀均匀性的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．27万方数据大连理工大学硕士学位论文3．4．2pH对刻蚀均匀性的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯

5、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯283。4．3酸洗对刻蚀均匀性的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯293．4．4电流密度对刻蚀均匀性的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．303．5本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．314掩膜电化学刻蚀镍微坑阵列模具的实验研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯324．1微坑阵列的加工⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．324．1．1取样标准与测量标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一324。1．2实验过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一334．1．3实验分析与讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一334．2凹槽的加工⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

6、⋯⋯⋯⋯．444．2．1掩膜版图形设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．444．2．2实验过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一454．2．3分析与讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．464．3本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．49结论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一51参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯52攻读硕士学位期间发表学术论文情况⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一55致{射⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．56大连理工大学学位论文版权使用授权

7、书⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．57万方数据大连理工大学硕士学位论文1绪论1．1选题背景及意义随着生命科学研究的发展，微流控芯片的作用愈加明显。微流控芯片己经被广泛应用在细胞培养、蛋白质分离、免疫分析及DNA测序等重要方向【1，21。同时微流控芯片的批量化生产对模具也提出了很高的要求。常用的模具材料包括金属材料与非金属材料。硅属于最常用的非金属材料之一，但硅材料比较脆，容易断裂，这样就严重影响了硅模具的使用效率，并且降低了模具的使用寿命。而金