用于线宽测量的双探针原子力显微镜对准系统研究

《用于线宽测量的双探针原子力显微镜对准系统研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、万方数据单位代码：幽学号：—20110—10006分类号：I鲢Z!!仑肥工学大警HefeiUniversityofTechnology博士学位论文DoCToRALDISSERTATIoN论文题目：旦王线童迩I量的巫拯钍厦王左显邀镜盟准丕统婴宜学科专业：猹蜜邀墨区扭越作者姓名：韭垡垃导师姓名：直星国巫宜员完成时间：2Q!垒生2旦单位代码：幽万方数据学号：至Q!jQ!QQQ鱼密级：分类号：博士学位论文TH711用于线宽测量的双探针原子力显微镜对准系统研究一‘‘’’』linewidthmeasur壁墅堕曼照堇作者姓名：韭堡垃导师姓名：直

2、星固婴究员申请学位：王堂盟±培养单位：金旦巴王些太堂学科专业：提交日期：2Q!垒生窆旦答辩日期：2Q!垒生12旦2014年9月咖4叫—●m哪哪，，Ⅲ8一呲哪帅IⅧ9㈣2舢Y一万方数据合肥工业大学博士学位论文用于线宽测量的双探针原子力显微镜对准系统研究作者姓名：蓝垡盟申请学位：王堂盟±研究方向：精蜜型达擅苤及邀墨学科专业：萱蜜这墨拯扭越指导教师：直星圈硒宜旦万方数据ADissertationSubmittedtoHefeiUniversityofTechnologyinaccordmancewiththerequirementfor

3、theDegreeofDoctorofPhilosophyReasearchonalignmentsystemofdual--probeAFM1n1●●1●●USed10rllneWlcItnmeaSUrementByZhangHuakunHefeiUniversityofTechnologyHefei，Anhui，RR．ChinaSeptember,2014万方数据卢荣胜赵维谦金美峰冯其波韩立匿名同行评议专家名单合肥工业大学北京理工大学安徽省计量院北京交通大学中科院电工所主席：董凤忠委员：王沛金美峰陈晓怀黄强先教授、博导研究员、

4、博导教授、博导同行评阅专家名单答辩委员会名单中科院安光所中国科技大学安徽省计量院合肥工业大学教授、博导研究员、博导教授、博导研究员、博导教授、博导万方数据合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业大学博士学位论文质量要求。答辩委员会签名主席：中科院安光所，研究员，委员：中国科技大学，教授，安徽省计量院，研究员，合肥工业大学，教授，拟导师：合肥工业大学，／1L圣【／国万方数据学位论文独创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。据我所知，除了文中特另lJJjI以标注和致谢的

5、内容外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得金匿王些太堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体，本人己在论文中作了明确的说明，并表示谢意。学位论文中表达的观点纯属作者本人观点，与合肥工业大学无关。⋯一签名j诲l{叶槲胪w¨月厂日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解金目巴王些太堂有关保留、使用学位论文的规定，即：除保密期内的涉密学位论文外，学校有权保存并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子光盘，允许论文被查阅或借阅。本人授权合肥工业大学可以将本学位论文的全部或部

6、分内容编入有关数据库，允许采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)学位论文作者签名：]每骂Ⅳ呷签名日期：加I中年l∑月r日论文作者毕业去向工作单位：联系电话：通讯地址：指导教师签名：移匐签名日期：&17c牛年【2月岁日邮政编码：万方数据致谢回首三年多的匆匆时光，才发觉要感谢的人太多太多，也正因为如此，才激励着我完成这篇属于学生时代的最后一篇论文。首先要感谢我的导师高思田研究员。本课题研究工作是在中国计量科学研究院纳米与新材料研究所完成的，纳米所的仪器设备在国内首屈一指，感谢高老师为我

7、提供如此良好的学习环境和实验条件。从课题的选择到实验的开展阶段，但凡遇到问题和瓶颈，高老师总是不厌其烦的提示和指导，帮助我排难解惑。感谢课题组的李伟副研究员，有着这样一位具有“八核CPU”的李老师的指导，我所遇到的几乎所有问题都能迎刃而解。他深厚的学术素养、缜密的逻辑思维将会在今后的工作中一直影响着我。感谢李琪博士给我的工作和论文上的指导，感谢王鹤群博士给我的论文修改意见。感谢同来研修的同学陈成、徐雪芳、李旭，师弟黄晓清、张明凯、王龙龙、李庆贤和钱晓力，虽然你们已经毕业，各奔东西，但我们一起工作和学习的时光总是那么让人怀念。感谢现

8、在纳米所的所有师弟师妹们，我们的队伍在不断壮大，希望以后能时常联系。感谢我的父母对我学业的无私的支持，在外求学而不能承欢膝下是我这几年的遗憾，今后我会抽出更多的时间陪伴你们。感谢我的女友，异地恋的苦闷只有经历过的人才会懂得，正因为如此，这段感情才让