溶胶凝胶法制备乳胶磷扩散源及其性能研究

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1、北京化工大学万方数据专业学位硕士研究生学位论文题目渣膣缝膣鎏剑圣塾膣登芷邀透区基丝能婴塞日期：二。一四年十月二十日北京化工大学学位论文原创性声明燃万方数据本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：{翟墼日期：塑竺丝：么厶兰么关于论文使用授权的说明学位论文作者完全了解北京化工

2、大学有关保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属北京化工大学。学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许学位论文被查阅和借阅；学校可以公布学位论文的全部或部分内容，可以允许采用影印、缩印或其它复制手段保存、汇编学位论文。口论文暂不公开(或保密)注释：本学位论文属于暂不公开(或保密)范围，在一年解密后适用本授权书。曰非暂不公开(或保密)论文注释：本学位论文不属于暂不公开(或保密)范围，适用本授权书。作者签名：j垂坦盏导师签名：＆强：j口l牛汜2_}万方数据学

3、位论文数据集中图分类号TM912．9学科分类号150．3050论文编号1001020140141密级非保密学位授予单位代码10010学位授予单位名称北京化工大学作者姓名周猛学号2011030141获学位专业名称化学工程获学位专业代码085216课题来源自选项目研究方向扩散源论文题目溶胶凝胶法制备乳胶磷扩散源及其性能研究关键词扩散源，溶胶凝胶，磷掺杂，磷硅玻璃论文答辩日期+论文类型开发研究学位论文评阅及答辩委员会情况姓名职称工作单位学科专长指导教师陈晓春教授北京化工大学化学工程评阅人I于光认副教授北京化工大学化学

4、工程教授级高评阅人2富志侠中国化工集团化学工程工评阅人3评阅人4评阅人5答睫耐酲；主席张泽廷教授北京化工大学化学工程答辩委员1李春喜教授北京化工大学化学工程答辩委员2李建伟教授北京化工大学化学工程答辩委员3于光认副教授北京化工大学化学工程教授级高答辩委员4富志侠中国化工集团公司化学工程工答辩委员5注：一．论文类型：1．基础研究2．应用研究3．开发研究4．其它二．中图分类号在《中国图书资料分类法》查询。三．学科分类号在中华人民共和国国家标准(GB厂r13745．9)《学科分类与代码》中查询。四．论文编号由单位代码

5、和年份及学号的后四位组成。万方数据摘要溶胶凝胶法制备乳胶磷扩散源及其性能研究扩散源是半导体器件生产制造的掺杂工艺中一种必不可少的微电子化学品。根据不同的掺杂工艺所使用的掺杂源有所不同，掺杂工艺主要分为两种：扩散和离子注入。由于扩散工艺相较于离子注入操作简单，设备及环境要求相对较低。生产制造成本低廉，因此备受一些厂家的青睐。本文主要研究扩散工艺所使用的扩散源——磷扩散源。传统磷扩散工艺主要以三氯氧磷为掺杂源，但是该掺杂源毒性很大，随着人们对环境污染的越来越注重，该工艺也面临着巨大的挑战。为了替代该扩散源，越来越多

6、的人们开始使用磷硅玻璃作为磷的掺杂源，但是磷硅玻璃在控制杂质浓度方面比较困难。本文从磷硅玻璃扩散源原理中得到启发，制备一种含磷乳胶液。将这种乳胶液直接涂布到晶圆片表面，形成一种含磷掺杂源的薄膜材料，然后再进行高温扩散，这样只要保证乳胶液中磷的含量以及涂布后薄膜的厚度就能控制整个扩散过程中磷的含量。本文借鉴正硅酸乙酯的溶胶凝胶过程，制备出一种二氧化硅乳胶液，并利用这种带有一定粘度的乳胶液作为载体将磷涂布到晶圆的表面，以实现掺杂的目的。通过验证了磷在乳胶液中的存在形式及扩散原理。T万方数据关键词：扩散源，溶胶凝胶，

7、磷掺杂，磷硅玻璃万方数据ABSTRACTSTUDⅥNGoNSYNTHESISANDTHEBEHAVIOUROFPHoSPHoRDIFFUSIoNSOURCEDiffusionsourceisusedfordiffusioninthemanufacturingofsemiconductordevice．IonImplantationanddiffusionarethetwodifferentmethodsfordoping．Withthedifferentwaytodopingtherearedifferentd

8、opingsource．Becauseofthesimpleoperationforthediffusiontechnology，itiswidelyused．Inthisarticlewewillintroduceyouthediffusionsourcewhichcontainsphosphorus．PhosphorusOXchlorideisthemostcommondiffus