线性调谐微机械陀螺驱动和检测技术的研究

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1、⑧万方数据论文作者签名：墼聋圣指导教师签名：乞叁二≤鱼丝论文评阅人1：评阅人2：评阅人3：评阅人4．评阅人5：答辩委员会主席：委员1：委员2：委员3：委员4：委员5：万方数据Illl[1lllllllllll[IHIJlllllllllll[1lllllllY2751838．．．．R．．．．．．e．．．s．．．e．．．a．．．．r．．．c．．．h．．．．．．o．．．．n．．．．．．D．．一r．i．v．．eandDetectionTechniquesforLinearTunableAuthor’SsiSUl3ervlsor7Sr1■ExternalReViewe

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3、ZhejiangUniversity．．．——Dateoforaldefence：31丛垒Y，2Q!垒万方数据浙江大学研究生学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得浙江太堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签名：导髻五签字魄力，垆年z月朋学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解浙江太堂有权保留并向国家有关部门或机构

4、送交本论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权浙选太堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)学位论文作者签名：辱猎灸导师签名：舍匆卜签字日期：力№年名月卜日签字日期：卯婶年6月fQ日万方数据致谢寒窗苦读二十余载，终于迎来求学生涯的谢幕。直博的五年，是我人生历练中最为重要的五年。五年，有得有失，有兴奋有失落，有迷茫有振作⋯⋯回顾这五年，心中依旧充满了感激。五年，强大了内心；五年，见证了成长；五年，完善了自我。感谢我的导师金仲和教授，五年前的

5、知遇之恩，此生不忘。从电子科学与技术学科全国百优博士论文获得者到全国首颗公斤级卫星的总设计师，金老师在科研上勇于归零、敢于挑战的学术作风，对我激励颇大。每次与金老师讨论，他总能帮我抓住问题的本质，进行细致的分析，给出合理的导向，使我从中得到科研的灵感与动力，师从金老师，受益匪浅。感谢课题组郑旭东博士、张霞博士和胡世昌博士所做出的先驱性工作，为我的继续研究打下了扎实的基础。特别感谢胡世昌博士四年来的并肩作战、共同奋斗。感谢王昊副教授、吴昌聚副教授、王慧泉副研究员、郑伟老师、刘义冬老师、马慧莲副教授和丁纯副教授五年来先后在我学习、工作和生活上给予的关心和帮助。感谢

6、闫社平、常旭、任阳、毛慧、高海源、俞旭辉、张顾洪、林伟俊、张大茂、史元、张斌等师兄和陈妍、许乐、申越等师姐，感谢杨俊义、赵科、游侠飞、阮晔锋、孙众、姚灵芝、陈宇睿、蔡波、沈国权、丁立聪、赵明臣等同学，感谢朱忠益、王文怡、陈振、马铭骏、刘杰、翟策、马威、李丹、严昱超、卢霄、陆光威、李强等师弟师妹，感谢大家所共同营造的良好集体氛围。感谢昔日恩师王莲美、余蔓、沈勤龙等，你们的帮助使我从一个无知的乡村小娃逐步走到了今天。最后，也是最重要的，感谢家人一直以来的理解与支持，让我可以全身心地投入于科研。谨以此论文作为我所有回报的起点，献给你们。万方数据浙江大学博士学位论文万

7、方数据摘要微机械陀螺是用于测量物体转动信息的一类传感器，由于其具有体积小、功耗低、可批量化生产等固有特点，因而存在广泛的市场应用前景，越来越受到学术和产业界的重视。近年来，微机械陀螺逐步向高精度方向发展，以模态匹配为代表的一系列新技术被有效采用，大幅提升了陀螺的检测精度。本论文以静电驱动电容检测型可调谐栅结构微机械陀螺为研究背景，从微机械陀螺的驱动、检测和静电调谐技术三大方面进行了较为全面的研究，并针对现有技术中尚存在的问题进行了新的探索，以期对现有微机械陀螺共有知识体系提供新的有益补充，论文的主要工作内容及贡献如下1)对微机械陀螺振动特性及其辨识技术的研究：

8、a)从抑制寄生电容导致的电学耦合角度分