铜与钯包覆铜引线键合界面结构演变的原位实验分析

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1、Abs订actAbstractAccordiIlgtoMoore’sLaw,thefbaturesizeofsemiconductordeVicesbecomesmallerandsmaller,andmechip血egrationdegreekeepsiIlcreasing.mparticular,accomp锄ywim廿ledeVelopmentofhighchip缸e刚ionalld岫itsizereduction,memctalnerco衄ects,i.e.nlewhbondillg,arebecomiIlgachallengiIlgpmblem.CopperwireisbelieVe

2、dasanimportantmetalforwirebond.mgi11Steadofgoldforitsanractiveadvamagessuchaslowcost,favorableelec仃ical锄dtllennalconductivities,excellentmechallicalproperties.However,beyondthoseadvalltages,bareCuwiresstillsuH研舶moxidizationa11dbadnexibili够Recently;palladium—coatedcopper(PCC)wirehasb∞nirItroducedtooV

3、ercomethepmblemsourrediIlbareCuwire.A胁oughⅡleoxidaIionproblemmaybepreVentedbysurfacecoatillg,t}leheatillg仃ea恤entsd嘶ngchipmallufacturmgpmcess,aswellast11ethe咖alconditiollsmattllechipmaySufrerdu血gworkillg,couldillduceunexpectedproblemsofthebond加gi11terface.Currently,meevolutionsoftlleillte恤cialmicrost

4、mcturesaswellastheirmechanismsi11山ebondiIlgi11terfacedurillgthemalconditionarestiUuncleari11botllcopperaIldPCCbondings.ESpecially,thebehaViorofPdatomdi觚sion锄dt11efoHnationofal哪乒numberofvoids证PCCbondingsstillrequ№detailedeXplanations.hl-sim仃蚰smissionelec仃帆micmscope(TEM)hashi曲spatialrcsolution锄dsh。ong

5、锄alysisabili够WimfbtCCDc锄eras,TEMcanalsorecordt11edyIlaJllicsnⅥctureev01utionoftheta曙ets啪pleiIlrealtime.Comb协edwitllmulti-nmctionholders,TEMcanalsoexertdiversefieldsandloadson廿les锄ple锄dsyllchronouslymon“orthe.rstⅢctllres锄dcomponenteVoIutions.Hence,inshTEMpmVidesaIladv柚cedtechniquetoeXplorcmeupperment

6、ionedissuesint11ebondillgitlter角cesofCu锄dPCC.111mist11esis,wehavepreparedTEMs锄plesbycuttiIlgCu肌dPCCwirebondjIlgsusiIlgfocusedionbeammemodandstudiedmeevol砸onsofthesetwodi仃brentwirebondillgmicrostrIlcturesbyi11situa衄ealiIlginside廿leTEM.1hemaillfindingsaresummarjzedasfollows:1.In—situ锄ealiIlgtIleCuwire

7、bondiIlg:(1)Compositiona11alysisofi11terfacesnlJctureeV01ution.Beforeannealing,isolatedcu·AlIMCdis劬utesillthebond№i11temce.ThemaillcomponentofMciscu9A14锄d廿1eminorcomponentofIMCisCuAl2.ARerannealiIlgat

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