基于pdms模板微纳米转印技术的分析

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1、liquid．．bridgedissolvingthesilverlinesandluminousnessofsilverlines．Theseresearchesofferanovelapproachforfabricatinggraphicalmetalstructure，andsupplytheoreticalsupporttometalinktransfer．Keywords：PDMS；TransferSU-8；Transfersilverink；Adhesionwork致谢翡翠湖畔，斛兵塘前：七年韶华，少年意气；师良友善，受教习礼。停笔凝思，在古城庐州生活

2、的七个春秋里，本科四年懵懵懂懂，似懂非懂地感受着合肥工业大学的学术熏陶，研究生三年，初涉科研，感叹于前辈的睿智辛勤，虽有心学术，却顽陋鲁鄙，终是所成甚微。但回思过往，唯有一颗感恩之心聊以述怀。首先要衷心感谢我的导师一一王旭迪教授，王旭迪老师在科研工作和日常生活都给予我了极大的指导和帮助。作为一名科研工作者，王旭迪老师身上所体现的科研创新的意识、严谨求实的态度、刻苦钻研的精神、精益求精的作风无不鞭策和指导着我的学术研究；作为一位言传身教的教师，王旭迪老师和蔼可亲，平易近人，对我的谆谆教诲让我受益匪浅。而他的为人处事和人生态度更是我今后学习的榜样和精神财富，在此，谨向王

3、老师致以我最崇高的敬意。感谢真空与过程装备教研室的全体老师，感谢陈长琦教授、干蜀毅教授、朱武教授、方应翠老师、唐志国老师、朱仁胜老师、王国栋老师，程建萍老师、于振华老师、樊文胜老师、汪洪波老师，马培勇老师，感谢各位老师给予我的指导和关心。感谢科大的付绍军老师、徐向东老师、刘颖老师、邱克强老师和刘正坤老师对我的指导，同时感谢李小军博士、郑衍畅博士、蒋晓龙博士、陈勇博士、饶欢乐博士等对我实验和论文的帮助，感谢金建、汤启升、郑正龙、涂吕星、刘玉东、王时飞、陶伟等全体师兄弟在生活和学习上给我的支持和关心。感谢我的室友们一一陈大鹏和赵腾同学，从你们身上我学会了阔达包容的生活心

4、态，积极乐观的人生态度，坚定原则的精神境界。三年的共同生活，在你们的帮助和鼓励下，我成长了很多，学会了很多，领悟了很多。地理的距离让我们天各一方，心理的距离让我们天涯比邻。感谢陈秋敏、闫瑁、陈东、张宽翔、李雪军等同学在研究生求学期间的勉励和帮助。感谢611以及607工作室全体同学三年的陪伴。最后还要感谢我的父母和兄长，正是因为你们的鼓励和支持，我才有勇气，有能量，有动力一直前进，永不放弃!作者：李鑫2013年04月20日目录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。11．1引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

5、⋯⋯⋯⋯．．11．2微纳米转印技术的分类和运用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11．1．1正性转印⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．11．1．2负性转印⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯21．1．3转印印刷⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯31．1．4墨水转印及其优点⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一41．3课题研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯5第二章墨水转印技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯72．1微结构表面的Cassie．Baxter和Wenzel状态⋯

6、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．72．2转印过程中的粘附能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯82．3转印过程中的动力学作用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．122．4本章小节⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．14第三章基于PDMS微孔模板转印SU．8胶的点阵结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．153．1实验方案和实验步骤⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．153．1．1实验材料和实验设备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯153．1．2光刻胶模板的制各⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．163．1．3PDMS模板的浇铸成型⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

7、⋯⋯．173．1．4SU一8胶的墨水转印⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯183．2接触角和深宽比对填充效果影响的模拟分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一193．2．1接触角的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一203．2．2深宽比的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯223．2．3填充效果的评估判定⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯233．3基于PDMS微孔模板的粘附能分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一233．4SU一8胶点阵转印实验的结果和讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯253．4．1基底表面能对转印的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯25