垂直阵列cnts纳米吸气剂制备工艺研究

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1、厦门大学学位论文原创性声明本人呈交的学位论文是本人在导师指导下，独立完成的研究成果。本人在论文写作中参考其他个人或集体已经发表的研究成果，均在文中以适当方式明确标明，并符合法律规范和《厦门大学研究生学术活动规范(试行)》。另外，该学位论文为()课题(组)的研究成果，获得()课题(组)经费或实验室的资助，在()实验室完成。(请在以上括号内填写课题或课题组负责人或实验室名称，未有此项声明内容的，可以不作特别声明。)声明人。㈣：励垒、7l怍多月加日厦f1大学学位论文著作权使用声明l恻燃本人同意厦门大学根据《中华人民共和国学位条例暂行实施办法》等规定保留和使用此学位论文

2、，并向主管部门或其指定机构送交学位论文(包括纸质版和电子版)，允许学位论文进入厦门大学图书馆及其数据库被查阅、借阅。本人同意厦门大学将学位论文加入全国博士、硕士学位论文共建单位数据库进行检索，将学位论文的标题和摘要汇编出版，采用影印、缩印或者其它方式合理复制学位论文。本学位论文属于：()1．经厦门大学保密委员会审查核定的保密学位论文，于年月日解密，解密后适用上述授权。()2．不保密，适用上述授权。(请在以上相应括号内打“1J”或填上相应内容。保密学位论文应是已经厦门大学保密委员会审定过的学位论文，未经厦门大学保密委员会审定的学位论文均为公开学位论文。此声明栏不填

3、写的，默认为公开学位论文，均适用上述授权。)声明人(签孙晰峦．烨年如如摘要在MEMS技术中，真空封装是一项关键技术问题，其中吸气剂工艺是高真空度获得和维持的必要条件。本实验室以CNTs作为骨架，利用CNTs具有高比表面积和自身储气等特性制备了一种吸气效率高、工艺简单、成本低的纳米吸气剂，但受限于CNTs生长条件苛刻，与基底粘附力差，易污染等缺点。本论文提出基于VA—CNTs转移技术的纳米吸气剂，为更进一步利用CNTs高比表面积和自身储气的优点，克服集成于MEMS器件的相关缺点提供一类新的解决方案。本文主要针对增大吸气剂单位面积的吸气速率和吸气量两方面，开展了在制

4、备与激活吸气剂薄膜工艺的研究、优化，如溅射功率、压强、时间以及温度等参数。具体研究工作包括以下几个部分：(1)在吸气剂经典模型的基础上，提出了适用于CNTs纳米吸气剂的吸气模型，并进行详细的理论分析，得到VA-CNTs／Ti纳米吸气剂的吸气动力学图。与Ti膜吸气剂相比，VA-CNTs／Ti纳米吸气剂的物理吸附速度是其n倍(n_S2／S1，S为比表面积)，扩散速度是其m倍(m--r／r2矿(f)出／r2y(f)出，坎t)为Ti膜扩散速度，d2为Ti膜厚度)。(2)分析、归纳垂直阵列CNTs生长机制，优化CVD工艺参数，制备VA．CNTs。提出并成功实现了基于玻璃浆

5、料粘结剂的纳米吸气剂转移技术。对VA-CNTs纳米吸气剂的制备和激活工艺进行了相关方面研究。在VA—CNTs上溅射Ti的最佳工艺参数为8Pa，350W，10min。纳米吸气剂的最佳激活工艺条件为600℃，30min。(3)采用BET法对纳米吸气剂进行比表面积测试，结果表明VA．CNTs／Ti的BET比表面积为275．0071m2／g，证明了纳米吸气剂具有高比表面积。(4)针对VA．CNTs纳米吸气剂，采用TGA对其吸气性能测试，结果证明VA．CNTs／Ti纳米吸气剂具有吸气性。关键词：纳米吸气剂；VA．CNTs：转移AbstractIntheMEMStechno

6、logy,vacuumpackagingisoneofthemostsignigicantresearchtopic．Thenecessaryconditiontoobtainandmaintainhi曲vacuumdegreeisgoodgettertechnology．CNTs，asframeworkwithadvantagesofhighspecificsurfaceareaandauto--getteringproperty,isusedtofabricateahigh··efficiency,simple-processandlow—costnanog

7、etter,butlimitedbyCNTsgrowthcondition，pooradhesionofthebasement．susceptibilitytopollution．T11ispaperintroducesatransfermethodforpreparingnanogetterbasedonVA—CNTsinordertoutilizehi曲specificsurfaceareaandofCNTsandovercomethedrawbacksduringtheintegrationofMEMSdevices．T11ispapermainlyfoc

8、usesonincrea