机械式光栅拼接稳定性全闭环控制技术研究

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1、74月2003年2月徐江等：基于神经网络的双层辉光离子渗金属工艺预测模型的研究机械式光栅拼接稳定性全闭环控制技术研究*1、请按照红色字体更正及批注在此文章中进行修改。2、论文结构和格式，请参考邮件附件中的“论文模板”，并将文章复制在模板上。注意字体大小及行距。3、文中数据图形要求采用origin8.0以上版本作图，软件设置要求参考附件，由软件生成的图片保存为tif格式。4、中文字体采用宋体，西文字体采用TimesNewRoman5、若有基金资助，请在首页左侧以角注形式标明6、修改后请将批注删除，红色字体只有删除后才能重新输

2、入为黑色字体7、请将修改稿上传到网站以及发送到cjmezhang@126.com中邵忠喜韩德东周维江梁迎春（哈尔滨工业大学机电工程学院哈尔滨150001）摘要：激光惯性约束聚变对机械式拼接光栅的稳定性提出了更高的要求，采1、摘要内容需300-500字，包括研究目的、采用方法、试验结果和得出的结论。注意，中英文意义需要一致。2、摘要中不用“我们”、“本文”、“作者”和“笔者”等用全闭环控制技术实现光栅拼接的高稳定性。为了提高光栅装置的拼接精度，分析了柔性机构的运动性能，从理论上推导了精确的拼接机构运动控制算法；以电容微位移传

3、感器作为反馈元件，研究了动光栅位姿监测算法，实现了动光栅位姿的实时监测。综合应用拼接机构运动控制算法和光栅位姿监测算法，实现了光栅拼接稳定性的单神经元自校正PID全闭环控制；设计了光学检测系统，进行了光栅拼接实验，并测试了拼接装置的运动精度和稳定性，评估了光栅拼接稳定性全闭环控制技术的可行性。实验结果表明拼接机构定位精度为0.2μrad/step(转动)、10nm/step(平动)，稳定精度为<1.2μrad/30min(转动)、<24nm/30min(平动)，满足光栅拼接任务的要求。关键词：惯性约束聚变；光栅拼接；高精度

4、控制；高稳定性控制；位姿监测；全闭环控制中图分类号：TP273+.5Researchofthefullclosed-loopcontroltechnologytothestabilityofthemechanicalgratingtilingSHAOZhongxiHANDedongZHOUWeijiangLiangYingchun(Dept.ofMechanicalEngineeringHarbinInstituteofTechnology,Harbin150001,China)Abstract：英文摘要采用被动语态、现在

5、时，不要出现“Author”，“thispaper”等TheInertialConfinementFusionputsforwardhigherrequirementonthestabilityofthemechanicalgratingtiling.Thefullclosed-loopcontroltechnologyisappliedtoachievehighstabilityofthegratingtiling.Inordertoimprovethestitchingaccuracyofthegratingdevic

6、e,themotionperformanceofflexiblemechanismisanalyzedandtheaccuratemotioncontrolalgorithmofthesplicingmechanismisdeducedintheory.Withusingthecapacitivemicrodisplacementsensorasthefeedbackelement,thepositionandposturemonitoringalgorithmisderived.Thesingleneuronadapti

7、vePIDfullclosed-loopcontrolforthestabilityofthegratingtilingisrealizedbycomprehensiveapplicationofthemotioncontrolalgorithmandthepositionandposturemonitoringalgorithm.Theopticsinspectionsystemisdesignedtocarryoutthestitchingexperimentandthemovementaccuracyandstabi

8、lityofthesplicingdevicearetestedtoevaluatethefeasibilityofthefullclosed-loopcontroltothestabilityofthegratingtiling.Theexperimentalresultsshowthatthesti