含羧酸基团的亲和性变化树脂的合成及性能研究

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1、第8分会场光固化与数字成像技术及其应用181一：一===≈=={===；=；=∞===；==≈===—==============；#===≈=；≈==一参考文献1MawT，MasOlaM，HoplaR．PropertiesofaphotoimageablethinpolyimidefilmE．PolymMatSciEng，1992，66：2472HoreK．In：ItoH．TagawaS．HorieK．editors．Polymericmaterialsformicroelectronicapplications．ACSsymposiumseries579，Washington，DC：Ame

2、ricanChemicalSociety：1994，23李加深．李佐邦，朱普坤，潘明旺．负性自增感光敏聚酰亚胺的改性研究．河北工业大学学报，1998。4(27)：84Z．G．Qian．；Z．Y．Ge．．；Z．X．Li；M．H．He；J．GLiu．；Z．，Z．Pang；L．Fan．；S．Y．Yang．Synthesisandcharacterizationofnewinherentphotoimageablepolyimidesbased011fluorinatedtetram—ethyl—substituteddiphenylmethanediamines．Polymer，2002，43，60

3、575Z．G．QJan．；Z，Z．Pang．；Z．X．Li．；M．H．He．；j．GLiu．；S．Y．Yang．PhotoimageablePoly—imidesDerivedfroma，a一(4一Amino一3，5一dimethylphenyl)phenylmethaneandAromaticDian·hydride．JPolym．Sci．PartA：Polym．Chem．2002，40，30126杨丽芳，李佐邦，成国祥，姚康德．自增感光敏聚酰亚胺的制备及研究．功能材料，2000，31(2)：196作者简介李仲晓，博士，北京印刷学院印刷包装工程与技术重点实验室，从事功能高分子材料研究。电话：

4、010—60261110；传真：010—60261108；E—mail：lizhongxiao@bigc．edu．cn。含羧酸基团的亲和性变化树脂的合成及性能研究吴倜张伟民王文广郑卫平杨娜蒲嘉陵北京印刷学院印刷包装材料与技术实验室，北京，102600摘要本研究合成了一种含羧酸基团的亲和性变化树脂(MAA—BuMA—St)。并采用改造后的UV—VIS分光光度计对该树脂与二乙烯基醚(BPA—DEVE)和三嗪类PAG相配合组成的“三组分”体系的溶解动力学曲线进行了跟踪，给出了一种亲和性变化的评价方法，系统地考察了不同条件对“三组分”体系树脂膜溶解速率的影响。实验结果表明，所合成的树脂与二乙烯基醚BP

5、A—DEVE、三嗪类PAG的配比为100：20：20(wt％)，预烤版温度为160℃。预烤版时间为10min，后烤版温度为120℃，后烤版时间为20min的条件下，“三组分”体系能获得较大的亲和性变化。关键词羧酸二乙烯基醚PAG解交联一、引言亲和性变化树脂是指在某种物理或化学刺激下，亲和性能发生变化，如从亲油变为亲水或从亲水变为亲油的高分子材料。在众多可选择的树脂体系中，含羧酸集团的高分子与适当的二乙烯基醚构成的J艘以科学发展观促进科技创新(下)可予交联体系具有独特的优点，可以与适当的PAG构成高亲和性反差的成像体系。在适当的温度下(如120E)，二乙烯基醚与树脂的羧酸基团形成聚缩醛的交联结构

6、，使树脂在失去亲水基团的同时，形成空问交联结构，极大地减少了树脂在(碱)水溶液中的溶胀，提升了树脂的抗蚀能力和尺寸稳定性。在后烤板过程中，在质子酸(由PAG曝光产生)的催化作用下，所生成的交联结构发生酸解交联反应，同时重新释放出亲水性的羧酸基团。这样，在整个成像过程中同时完成了树脂亲和性和高分子空间交联结构的变化，可以在曝光前后产生巨大的物理性能差异，形成高反差成像体系。日本的山岗亚夫教授所率领的团队在这方面开展了很多卓有成效的工作。他的研究表明，这种机理对酚羟基以及聚氨基树脂中羟基实施保护的材料体系的敏感度较低(最低成像曝光量>100n1J／cm2)，而对羧酸基中的羟基保护的材料体系敏感度较

7、高(最低成像曝光量在10rnJ／cm2)。近年来，对这类“三组分”体系的研究和应用较多。主要采用IR、SEM等方式对“三组分”体系的亲和性变化进行间接跟踪评价。本研究合成了一种含羧酸基团的三元共聚树脂，采用改造后的UV—VIS分光光度计对“三组分”体系的溶解动力学曲线进行跟踪，给出了一种亲和性变化的评价方法，并结合树脂体系的组成、结构等数据对影响该“三组分”树脂体系溶解速率的因素进行了系统的研究。