基于mems技术的汽车传感器研究电子信息工程毕业论文精选

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1、※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※2009届学生毕业设计(论文)材料（四）学生毕业设计（论文）课题名称基于MEMS技术的汽车传感器研究姓名学号院系物理与电信工程系专业电子信息工程指导教师2008年5月25日13目录摘要1关键词1Abstract2KeyWords21引言32可靠性研究33寿命分布模型的描述84MEMS汽车传感器的研究应用现状，以及介绍几种MEMS汽车传感器94.1研究应用现状94.2几种MEMS汽车传感器的介绍104.2.1压力传感器104.2.2微加速度计104.2.3微机械陀螺115结束语12参考文献12致谢1313基于MEMS技术的汽

2、车传感器研究摘要：随着汽车传感器的迅速发展和MEMS（微机电系统）技术的深入研究，基于MSMS技术的汽车传感器越来越多地用于汽车制造技术中。本文主要是研究汽车电气系统中MEMS传感器的可靠性以及其研究应用现状，并提出了基于阶段主导可靠性因素的MEMS汽车传感器可靠性研究方法；本文也讨论了汽车应用环境下的失效模式和失效机理；并初步探讨如何对MEMS传感器系统寿命分布模型进行定量描述；本文还介绍了几种MEMS汽车传感器；本文也对基于MEMS技术的汽车传感器今后的发展研究进行了探讨。关键词：MEMS技术汽车传感器可靠性BasedonMEMStechnologyautomobi

3、lesensor'sresearch13Abstract:Alongwiththeautomobilesensor'srapiddevelopmentandthetechnicaldeepresearchofMEMS(microcomputerelectricalsystemseries),automobilesensorwhichisbasedontheMSMSapplymoreandmoreontheautomobiletechnology.Thisthesishasanalyzedthepresentsituationandreliabilitydesignmet

4、hod;AndhowtocarryonthequotadescriptiontotheMEMSsensorsystemlifedistributionmodeltomakethepreliminarydiscussion;ItalsohassummarizedtheMEMSautomobilesensor'sclassification,themanufactureprocessingandthecraft.FinallyhascarrieonthediscussiontotheMEMSautomobilesensorreliablepresent'sdevelopme

5、ntresearch.KeyWords:MEMStechnologyAutomobilesensorReliability1引言未来的汽车用传感器技术，总的发展趋势是微型化、功能化、集成化和智能化。微机电系统（MEMS）是一种多学科交叉技术，MEMS技术与智能化、集成化三者有着密切的联系，可以看成一个有机的整体。MEMS技术是微型化、集成化的基础，在传感器微型化和高度集成下，传感器可以具有诸多的信息检测与控制功能，从而实现了智能化。MEMS技术已在传感器领域得到了广泛应用，例如MEMS加速度计、MSMS压力传感器等。MEMS13传感器是利用微电子机械加工技术将微米级的敏

6、感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上，它具有体积小、价格便宜、可靠性高、工作寿命长等特点，并且可以明显提高系统测试准确度，可以说，以MEMS技术为基础的微型化、多功能化、集成化和智能化的传感器将逐步取代传统的传感器，成为汽车传感器的主流。MEMS汽车传感器的可靠性渐渐成为微系统技术工程研究的焦点，可靠性是MEMS汽车传感器设计与制造需要考虑的关键因素，高可靠性的MEMS传感器对于汽车人员安全与资源节约和环境保护作用巨大。可靠性是指在规定时间与条件下，一种设备各方面性能应满足一定的要求。虽然，在产品推向市场时，对产品质量的主要要求是按客户的需求使产品具有高的生

7、产率且功能完备，但是，可靠性才是产品质量的重点。MEMS汽车传感器的可靠性问题非常复杂，涉及机械学、制造科学、微电子学、传感技术、信息技术、失效物理学、数理统计概率论、材料科学、力学等多学科、多领域。可靠性是一个质量指标，具有综合性、时间性和统计性。MEMS汽车传感器可靠性的研究必须联系相关学科群，采用综合分析原则，对不同方向进行可靠性研究。2可靠性研究当前国外对MEMS的可靠性研究处于起步阶段，MEMS汽车传感器研究重点在于MEMS器件工艺、零部件和传感器的功能、机电特性的实现，而可靠性研究则是偏重于单个类型的传感器的使用寿命和对可靠性