超薄金属薄带厚度测量系统的研究

《超薄金属薄带厚度测量系统的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、y689065浙江大学硕士学位论文摘要受中国物理研究院的委托，我们设计研究了一种白光差分干涉测量装置来测量超薄余属薄带的厚度。i亥项目在完成理论可行性论证后，要进行硬件的设计、制造和调试，另外，要进行数据处理算法的研究和软件的编写。木文的主要研究工作有理论可行性研究和数据处理算法的研究及算法可行性的论证。以光的干涉理论为基础，对白光差分干沙测量装置的理论可行性进行了分析论证，并根据计算提出了在误差许可的范围内，在设计侧量装置时应满足的要求，可以据此选择材料及指导安装。根据白光差分干涉谱数据由低频和高频组成，并且频率变化是非线性的特点，提出了以小波理论为基础的

2、滤波及去噪方法，提取出所需的低频项数据，从而得到金属薄带的厚度。根据算法的特点，提出了测量的条件，估算了小波滤波的层数。并对处理白光干涉谱数据的极值法进行了改进，用这种方法可以较精确的得到金属薄带的厚度。为了解决极值法处理白光干沙谱数据求光程差存在抗噪声差的缺陷，提出了一种基于均方差最小意义卜新的处理方法。该方法假定当拟合值与测量值最接近时，对应光强的均方差最小。通过数值仿真的方法验证了该方含的可靠性。该方法利用进行归一化处理后的可用测量光强数据，与拟合光强求均方差，通过逼近法获得均方差最小时对应的拟合值。实验结果表明，利用该方法处理白光干涉谱数据得到的光程

3、差，不仅比极值法具有更高的数据精度，而且有效的提高了抗干扰能力。本文提出的基于小波理论的处理白光差分干沙谱数据的算法在vc+-{-b.0编程环境中实现了，其中小波滤波调用了MATLAB函数。程序经过了仿真数据及实际测量数据的验证。在论文的最后，提出了完善本系统的设想。关键词:金1zi.厚度测量，白光干涉，小波，算法浙江大学硕士学位论文ABSTRACTEntrustedbyChinaphysicsresearchinstitute,adifferentialwhitelightinterferingdeviceispresentedtomeasuretheth

4、icknessofultra-thinmetalfoil.Design,manufactureanddebugofthehardwareshouldbecarriedonafterfinishingthefeasibledemonstrationofthetheory.Inaddition,weshouldcarryonresearchofthedataprocessingalgorithmandthewritingofsoftware.Themainresearchworkinthisthesisaretheoryfeasibilityresearch,r

5、esearchofthedataprocessingalgorithmanddemonstrationofalgorithmfeasibility.Basedonthetheoryofinterference,thetheoreticalfeasibilityofthedifferentialwhitelightinterferencesystemhasbeendemonstrated.Therequesthasalsobeenproposedwhiledesigningthemeasurementdeviceaccordingtocalculationin

6、therangeoferrorpermissionWecanchoosetheexperimentalcomponentsandguidetheinstallationinviewoftheaboveAfilteringandgettingridofnoisemethodbasedonthewavelettheoryhasbeenproposedaccordingtothecharacteristicsthatthediferentialwhitelightinterferencespectrumdataiscomposedoflowfrequencyand

7、highfrequencycomponents,andthefrequencychangeisnon-linear.Sothelowfrequencydataneededcanbeextracted.Accordingtocharacteristicofalgorithm.Theconditionofmeasurementhasbeenputforwardandlayersofwaveletfilteringhavebeenestimated.Theextremevaluemethodwhendealingwithwhitelightinterference

8、spectrumhasalsobeenmodifie