毕业论文范例___光学元件检测技术研究

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1、摘要随着光学技术的发展，在很多高科技领域都涉及到光学知识，但是对它们的精度要求越来越高，所以要想在制造上达到高精度必须在检测设备上提高精度。对于传统小口径的光学元件采用干涉法能获得高精度值。但是如果大口径光学元件，检测方法就很复杂，即要减少成本又想提高精度，子孔径拼接法凭借可以利用小口径干涉仪多次测量大口径光学元件而获得。所以子孔径拼接技术就发展起来。子孔径拼接检测技术是拓展标准干涉仪的横向和纵向动态范围，实现低成本、高分辨率检测大口径光学元件的有效手段。首先介绍光学元件及光学元件多种检测方法，包括面形偏差检测，曲率半径检测，光学不平行度检测，对比各自的优缺点。

2、然后引出子孔径拼接技术，接着分析了子孔径的分类，拼接模式的选取和子孔径数目的确定子孔径数据采集中关键问题的解决方法，后来又对算法进行分析，从多个方面分析子孔径拼接法的实现过程。最后对子孔径拼接技术做了展望和应用前景。关键词光学元件子孔径拼接法干涉测量AbstractAlongwiththedevelopmentoftheopticaltechnology,Inmanyhigh-techareaswererelatedtoopticalknowledge,Butfortheiraccuracyismoreandmorehigh,soinordertoachieve

3、highprecisionmanufacturingintestingequipmentmustimproveprecision.Asfortraditionalopticalcomponentissmallinterferencemethodcangethighprecisionvalue.Butiflargediameteropticalcomponents,detectionmethodisverycomplex,thatis,toreducecostsandwanttoimprovetheaccuracyofsubaperturejoiningtoget

4、herwithcanusemanytimesoflargediametermeasuringsmallinterferometeropticalelementandobtain.Sosubaperturestitchingtechniqueisdeveloped.Subaperturejoiningtogethertesttechnologyisdevelopmentofstandardinterferometerhorizontalandverticaldynamicrange,andrealizelowcost,highresolutiontestingof

5、largediameteropticalelementeffectivemeans.Firstintroductionopticalcomponentsandopticalcomponentsavarietyoftestingmethods,includingfaceformerrordetection,thecurvatureradiusdetection,opticalnotparalleldegreetesting,comparedtotheirrespectiveadvantagesanddisadvantages.Andthendrawoutsubap

6、erturestitchingtechnique,thenanalysestheclassificationofsubaperture,joiningtogetherofthemodelselectionandthedeterminationofsubaperturenumbersubapertureofthekeydataacquisitionmethodofsolution,andthenthealgorithmanalysisfromseveralrespects,analysisofsubaperturejoiningtogetheroftheimple

7、mentationprocess.keywordOpticalcomponentsSubaperturestitchingmethodInterferencemeasuring目录第一章绪论51.1课题的来源及意义51.2国内外现状51.2.1国外现状51.2.2国内现状61.3论文的主要研究内容6第二章现代光学元件的检测72.1现代光学元件的种类72.2光学元件曲率半径的检测方法及原理72.2.1机械法72.2.2自准球径仪法92.2.3自准望远镜测量法102.2.4平行板剪切干涉法112.3光学元件面形偏差的检测方法及原理122.3.1裴索平面干涉仪检测面形

8、偏差132.3.2刀口阴