基于空间映射法的ltcc滤波器的分析

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1、缩略语对照表LTCCMCMS口SMOSMASMANNPDPBPSMNMIMVICLowTemperatureCofiredCeramicMulti—ChipModuleSystemInPackageSpaceMapping069inalSpaceMappingAggressiveSpaceMappingArtificialNeuralNetworksParallelDistributedProcessionBackPropagationSpace—MappedNeuromodelingMental．I

2、nsulator-MentaVertically-Interdigitated—CapacitorⅥI低温共烧陶瓷多芯片组件系统级封装电路空间映射法初始空间映射方法主动空间映射方法人工神经网络双向分布处理反向传播神经网络空间映射算法双平行板电容多层垂直交叉式电容独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。

3、与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。论文使用授权加届年，月言／日本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后应遵守此规定)签名：连嬗导师签名：监日期：≯矿(b年占月2-．日第一章绪论1．1低温共烧陶瓷(LTCC)技术

4、随着科学技术的迅猛发展，为了满足当今电子设备、器件小型化的需要，低温共烧陶瓷技术(LTCC，LowTemperatureCofiredCeramic)迅速发展成为令人瞩目的电路封装技术，运用这一技术，可以把多个微波无源元件集成在一起，其设计的多样性和布线的灵活性，提高了微波电路的组装密度，缩小了微波混合集成电路的体积。LTCC技术这些独特的优点，在手机通通信、雷达制导等领域均获得了广泛的应用Ⅲ．o1．1．1LTCC技术的介绍低温共烧陶瓷技术是一种电路封装技术，它是由美国的休斯公司在1982年率先开发应

5、用的瞄3，是整个电路封装的前沿技术。LTCC技术就是把低温烧结的陶瓷粉料制成厚度均匀且致密的生陶瓷膜片，然后在膜片上打孔，接下来向通孔注入金属浆料，使通孔金属化，然后根据设计好的电路图形把导体浆料印刷在每一层的陶瓷膜片上，制出所需要的电路图形，接着按照一定的次序把这些带有通孔和印有导电图形的多层陶瓷膜片进行叠压，最后进行一次性低温(800．9000C)烧结，这是相对于高温陶瓷(15000C)而言的。像多芯片组件(MCM，Multi．ChipModule)以垂直互连的方式把多层陶瓷膜片上的电路进行相连接

6、，提高布线密度，使多个微波无源、有源器件集成在一个大的模块中，可进一步使系统小型化与高密度化，最终实现复杂的系统功能。运用LTCC技术进行微波射频多层电路的设计，它有以下几个优点n’23：1)陶瓷材料具有高频高Q特性，使用频率可高达几十GHz；其表面的导体材料使用导电率高的金属导体，有助于提高整个电路的品质因子。2)可以制作层数很多的电路基板，并可以将多个种类不同的无源元件埋入其中。3)运用多种级联方式对集成电路和各种有源器件进行互连，实现微波无源、有源的复杂集成，而且缩小了组装电路的体积尺寸，减小了

7、重量。4)适用于大电流的电路系统模块；具有耐高温特性，而且还具有普通印制电路板所不及的热传导性。电子科技大学硕士学位论文5)其较小的热膨胀系数，有利于实现高效散热的封装设计。6)其可靠性高，耐高温、高湿，可应用于恶劣环境。1．1．2LTCC工艺流程介绍要利用低温共烧陶瓷基板来设计微波射频元器件，那么首先应该熟悉其制造工艺及其加工要求。LTCC电路的总体要求通孔直径要尽量小、布线的宽度应尽量窄，以达到高密度布线。运用LTCC技术制作元件时的工艺流程如图1所示：图1-1LTCC工艺流程图工艺流程简要地介绍

8、如下：首先，把粉碎的陶瓷浆料按照一定比例配置好，经过一定的工序加工成陶瓷膜片，要求致密性好、厚度均匀一致、宽度不小于l10mm并且具有一定的机械强度。接下来，在陶瓷膜片上进行激光打孔，之后把导体浆料(如银浆或钯银)，注入通孔内，以达到通孔金属化的目的。根据通孔的对位精度及通孔孔径大小来设计焊盘直径、导线线宽及线间距。然后根据设计好的电路图形，印刷陶瓷膜片。印制电路图形时，丝网与陶瓷膜片应该严格对位，这是最关键的工艺之一。将带有通孔和印刷电路图形的生瓷膜片